特許
J-GLOBAL ID：200903073923692528

圧電薄膜素子およびその製造方法

発明者：
柴田 憲治

柴田 憲治 について

, 
海野 恒弘

海野 恒弘 について

, 
山田 綾乃

山田 綾乃 について


出願人/特許権者：
日立電線株式会社

日立電線株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-034360
公開番号（公開出願番号）：特開2005-228837
出願日： 2004年02月12日
公開日（公表日）： 2005年08月25日
要約：
【課題】組成が互いに異なる複数種類の圧電薄膜を使うことなく、単一の組成の圧電薄膜のみで、高い圧電特性を有する圧電薄膜素子を得る。【解決手段】基板1上に、下部電極薄膜2と上部電極薄膜4に挟まれた圧電薄膜3を備える圧電薄膜素子において、前記圧電薄膜3が、膜厚方向に対して垂直な方向において隣接し、且つ主たる結晶面方位が互いに異なっている複数の領域3A、3B...を持つ構造とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板上に、下部電極薄膜と上部電極薄膜に挟まれた圧電薄膜を備える圧電薄膜素子において、 前記圧電薄膜が、膜厚方向に対して垂直な方向において隣接し、且つ主たる結晶面方位が互いに異なっている複数の領域を持つことを特徴とする圧電薄膜素子。
IPC (7件)：
H01L41/09 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  H01L41/18 ,  H01L41/187 ,  H01L41/22 ,  H02N2/00
FI (8件)：
H01L41/08 C ,  H02N2/00 B ,  H01L41/18 101C ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101J ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 Z ,  B41J3/04 103A
Fターム (8件)：
2C057AF54 ,  2C057AF93 ,  2C057AG45 ,  2C057AG99 ,  2C057AP14 ,  2C057AP31 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM