特許
J-GLOBAL ID：200903055480199027
圧電体素子、インクジェット式記録ヘッドおよびそれらの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-115099
公開番号（公開出願番号）：特開平11-307833
出願日： 1998年04月24日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：
【要約】【課題】 低電圧で駆動する圧電体素子を提供する。【解決手段】 この圧電体素子は、ペロブスカイト結晶構造を持つ圧電体層と当該圧電体層を挟んで配置される上電極および下電極とを備える。そして圧電体層(41)における(001)方位の柱状結晶粒における結晶軸方向が下部電極(32)面の法線方向と所定角(5度から20度)をなすように設定されている。このような構造の圧電体素子は、低電圧において従来品並みの圧電特性を示しそれ以上の電圧で従来品より高い圧電特性を示す。低電圧駆動をさせる圧電体素子として最適である。
請求項（抜粋）：
下部電極および上部電極の間に結晶化された圧電体層を備える圧電体素子において、前記圧電体層を構成する結晶のうち(001)面方位の柱状結晶粒における結晶軸方向が前記下部電極面の法線方向から所定角傾いていることを特徴とする圧電体素子。
IPC (6件)：
H01L 41/09
, B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
, H01L 41/187
, H01L 41/22
H01L 41/08 C
, B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
, H01L 41/18 101 D
, H01L 41/22 Z
