ポジ型フォトレジスト組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-087578
公開番号（公開出願番号）：特開平7-271023
出願日： 1994年04月01日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：

【要約】【構成】アルカリ可溶性樹脂とキノンジアジド基含有化合物を有機溶媒に溶解してなるポジ型フォトレジスト組成物において、有機溶媒がβ-アルコキシイソ酪酸アルキルエステルであることを特徴とするポジ型フォトレジスト組成物【効果】本発明のポジ型フォトレジスト組成物は、塗布性、保存安定性および安全性に優れたもので、特に液晶表示素子製造に極めて有用である。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂とキノンジアジド基含有化合物を有機溶媒に溶解してなるポジ型フォトレジスト組成物において、該有機溶媒としてβ-アルコキシイソ酪酸アルキルエステルを用いることを特徴とするポジ型フォトレジスト組成物

IPC (2件)：

G03F 7/022 , H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (6件)

ポジ型の感光性液組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-215956 出願人：ナガセ電子化学株式会社
レジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-199886 出願人：日東化学工業株式会社
化学増幅型レジスト溶液
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-048634 出願人：日本合成ゴム株式会社

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