特許
J-GLOBAL ID：200903096052074579

ウェーハ研磨装置及びウェーハ製造方法

発明者：
小林 達宜

小林 達宜 について

, 
田中 弘志

田中 弘志 について


出願人/特許権者：
三菱マテリアル株式会社

三菱マテリアル株式会社 について


代理人 (1件)： 志賀 正武 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-135017
公開番号（公開出願番号）：特開2000-331969
出願日： 1999年05月14日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：
【要約】【課題】 ウェーハ研磨の終点検出を安定して行うことができるウェーハ研磨装置及びウェーハ製造方法を提供することを目的としている。【解決手段】 回転自在に支持されているスピンドル1は、ウェーハ保持ヘッドを連結させるためのスピンドル側連結部4を備えている。このスピンドル側連結部4の外筒部17内部には、鍔部18bを有した位置調整部材18が設けられており、鍔部18bには圧電素子からなる圧力センサ20が円周方向に複数配置されている。ウェーハ保持ヘッドに保持されたウェーハに作用される力は圧力センサ20によって検出されるようになっており、圧力センサ20の出力信号によって研磨終点の検出が可能となっている。
請求項（抜粋）：
表面に研磨パッドが貼付されたプラテンと、研磨すべきウェーハを保持して前記研磨パッドにウェーハの一面を当接させるウェーハ保持ヘッドとを具備し、このウェーハ保持ヘッドと前記プラテンとの相対運動により前記研磨パッドで前記ウェーハを研磨するウェーハ研磨装置であって、前記ウェーハ保持ヘッドは、上部に連結されたスピンドルによって水平回転自在に支持されるとともに、このスピンドルの前記ウェーハ保持ヘッドとの連結部分の一面には、研磨時における前記ウェーハに作用する力を観測するためのセンサが設けられたことを特徴とするウェーハ研磨装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 622 ,  B24B 37/04
FI (2件)：
H01L 21/304 622 K ,  B24B 37/04 K
Fターム (9件)：
3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AB04 ,  3C058AC02 ,  3C058BA01 ,  3C058BA05 ,  3C058BC02 ,  3C058CB01 ,  3C058DA17
引用特許：
審査官引用 (4件)
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