容量式湿度センサおよびその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊藤洋二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-039001
公開番号（公開出願番号）：特開2002-243689
出願日： 2001年02月15日
公開日（公表日）： 2002年08月28日
要約：

【要約】【課題】小型化および高感度化に適し、且つ信頼性に優れた容量式湿度センサを提供する。【解決手段】第1の半導体層11と第2の半導体層12との間に絶縁膜13を介在させてなる積層基板10を備え、この積層基板10には、第1の半導体層11の表面から絶縁膜13に至る溝部20が形成されており、第1の半導体層11には、溝部20によって少なくとも2個の電気的に分離された分離領域31、32が形成されており、溝部20には、湿度に応じて誘電率が変化する感湿部材50が埋め込まれている。

請求項（抜粋）：

第1の半導体層(11)と第2の半導体層(12)との間に絶縁膜(13)を介在させてなる積層基板(10)を備え、この積層基板には、前記第1の半導体層の表面から前記絶縁膜に至る溝部(20)が形成されており、前記第1の半導体層には、前記溝部によって少なくとも2個の電気的に分離された分離領域(31、32、33)が形成されており、前記溝部には、湿度に応じて誘電率が変化する感湿部材(50)が埋め込まれていることを特徴とする容量式湿度センサ。

Fターム (7件)：

2G060AA01 , 2G060AB02 , 2G060AE19 , 2G060AF11 , 2G060AG10 , 2G060BB10 , 2G060JA02

引用特許：

審査官引用 (14件)

特開昭57-153254
湿度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-209206 出願人：セイコーエプソン株式会社
特開昭57-124401

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