特許
J-GLOBAL ID：200903096163777129
適応性鏡を有する反射屈折投映対物レンズ及び投映照明法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
矢野 敏雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-146916
公開番号（公開出願番号）：特開2000-031039
出願日： 1999年05月26日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：
【要約】【課題】 反射屈折縮小対物レンズが、可及的に簡単な構造であるにもかかわらず、特に可変の障害に関して写像品質を効果的に制御し得るようにする。【解決手段】 少なくとも1つの湾曲した鏡(S2)が変形可能である。この変形可能な鏡(S2)を変形させることのできる調節エレメント(A1,A2)が設けられている。これらの調節エレメント(A1,A2)は特定の像誤差及びその修正に対応し得るように適合せしめられている。
請求項（抜粋）：
少なくとも1つの湾曲した鏡(S2)を有している形式の、マイクロリソグラフィーの反射屈折投映対物レンズにおいて、少なくとも1つの湾曲した鏡(S2)が変形可能であり、この変形可能な鏡(S2)を変形させることのできる調節エレメント(Ai,410)が設けられており、これらの調節エレメント(Ai,410)は特定の像誤差及びその修正に対応し得るように適合せしめられていることを特徴とする、反射屈折投映対物レンズ。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G02B 26/08
, G03B 21/28
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 515 D
, G02B 26/08 J
, G03B 21/28
, G03F 7/20 521
