特許
J-GLOBAL ID：200903096245337550

平面形状計測装置、平面形状計測方法及び該方法を実行するプログラムを記憶した記憶媒体

発明者：
光谷 直樹

光谷 直樹 について

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半田 博久

半田 博久 について

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川▲崎▼ 和彦

川▲崎▼ 和彦 について


出願人/特許権者：
株式会社ミツトヨ

株式会社ミツトヨ について


代理人 (1件)： 渡部 敏彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-360169
公開番号（公開出願番号）：特開2001-174232
出願日： 1999年12月20日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：
【要約】【課題】 専用のハードウェアを用いることなく位相シフト法における位相シフト量を高精度で取得して平面形状を正確に計測することができる平面形状計測装置、平面形状計測方法及び該方法を実行するプログラムを記憶した記憶媒体を提供する。【解決手段】 位相0°において干渉縞画像I1を撮像し、位相の半周期分(2π)の位相aを計測する。次いで、位相シフトを微小量行った後、干渉縞画像I2を撮像し、干渉縞画像I1と干渉縞画像I2との相対的移動量bを計測する。さらに、位相シフトを微小量行った後、干渉縞画像I3を撮像し、干渉縞画像I1と干渉縞画像I3との相対的移動量cを計測する。計測されたa値、b値及びc値に基づいてα=2πb/aにより算出した位相シフト量αと、β=2πc/aにより算出した位相シフト量βとに基づいて3つの干渉縞画像情報I1(x,y)、I2(x,y)、I3(x,y)を算出する。また、これらの3つの干渉縞画像情報I1(x,y)、I2(x,y)、I3(x,y) を位相接続処理及び位相-平面変換処理等の公知の平面形状解析手法により平面形状を算出する。
請求項（抜粋）：
被計測物の観測面からの光学的反射像と参照面からの光学的反射像を干渉させる干渉光学系と、前記観測面と前記参照面との干渉により生じた光学的位相をシフトした複数の2次元干渉縞画像を取得する機構とを備え、複数の位相シフトした2次元干渉縞画像情報を捉え、これらの画像情報を加工して前記被検面の形状を再現する平面形状計測装置において、前記複数の2次元干渉縞画像の各々より干渉縞の位相差量を算出し、前記観測面の形状情報を求める位相シフト法の位相シフト量を前記位相差量を用いて補正することを特徴とする平面形状計測装置。
IPC (2件)：
G01B 11/24 ,  G01B 9/02
FI (2件)：
G01B 9/02 ,  G01B 11/24 D
Fターム (44件)：
2F064AA09 ,  2F064CC10 ,  2F064FF02 ,  2F064GG12 ,  2F064GG22 ,  2F064GG33 ,  2F064GG38 ,  2F064GG39 ,  2F064GG41 ,  2F064GG52 ,  2F064GG53 ,  2F064HH03 ,  2F064HH08 ,  2F064HH09 ,  2F064JJ01 ,  2F065AA51 ,  2F065BB01 ,  2F065EE00 ,  2F065FF51 ,  2F065GG06 ,  2F065GG22 ,  2F065GG25 ,  2F065HH03 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL33 ,  2F065LL35 ,  2F065LL36 ,  2F065LL46 ,  2F065LL67 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ26 ,  2F065QQ32 ,  2F065QQ42 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (2件)

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