特許
J-GLOBAL ID：200903096283387200

微細パターン転写用原版の形成材料、転写用原版及びその作製方法

発明者：
児玉 欣也

児玉 欣也 について


出願人/特許権者：
信越化学工業株式会社

信越化学工業株式会社 について


代理人 (4件)： 小島 隆司 ,  重松 沙織 ,  小林 克成 ,  石川 武史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-140599
公開番号（公開出願番号）：特開2005-321667
出願日： 2004年05月11日
公開日（公表日）： 2005年11月17日
要約：
【課題】 接着性、離型性、機械的特性、耐溶剤性、耐熱性及び耐湿性に優れた被膜を与える微細パターン転写用原版の形成材料を提供する。【解決手段】 (A)(i)式(1):R1XR2YSi(OR3)4-X-Y(R1は加水分解性エポキシド含有一価有機基、R2は非置換又は置換の一価炭化水素基、R3はH又は一価炭化水素基、Xは1〜3、Yは0〜2、1≦X+Y≦3)のシラン化合物と、(ii)式(2):R2ZSi(OR3)4-Z(Zは0〜3)のシラン化合物を、R1基がOR3基を除く全有機基に対して10モル%以上、更にトリオルガノキシシラン化合物とテトラオルガノキシシラン化合物の合計量が全シラン化合物の40モル%以上の割合で混合して共加水分解縮合により得られる分子量が500〜50,000のアルカリ可溶性シリコーン樹脂、及び(B)光酸発生剤を含有する光硬化性オルガノポリシロキサン組成物からなる微細パターン転写用原版の形成材料。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
(A)(i)下記一般式(1): R1XR2YSi(OR3)4-X-Y (1) (式中、R1は加水分解性のエポキシドを一つ以上有する炭素原子数2〜30の一価の有機基を示し、R2は炭素原子数1〜20の非置換又は置換の一価炭化水素基を示し、R3は水素原子、又は炭素原子数1〜10の非置換もしくは置換の一価炭化水素基を示す。Xは1〜3の整数であり、Yは0〜2の整数であり、1≦X+Y≦3を満足する。) で表される1種又は2種以上のシラン化合物と、(ii)下記一般式(2): R2ZSi(OR3)4-Z (2) (式中、R2は炭素原子数1〜20の非置換又は置換の一価炭化水素基を示し、R3は水素原子、又は炭素原子数1〜10の非置換もしくは置換の一価炭化水素基を示す。Zは0〜3の整数である。) で表される1種又は2種以上のシラン化合物とを、R1で表される有機基がケイ素原子に結合したオルガノキシ基を除く全有機基に対して10モル%以上の割合で、更にモノオルガノトリオルガノキシシラン化合物とテトラオルガノキシシラン化合物との合計量が全シラン化合物の40モル%以上となる割合で混合して共加水分解縮合することにより得られる重量平均分子量が500〜50,000(GPCによるポリスチレン換算値)であるアルカリ可溶性シリコーン樹脂、及び(B)光酸発生剤を含有してなる光硬化性オルガノポリシロキサン組成物からなる微細パターン転写用原版の形成材料。
IPC (5件)：
G03F7/075 ,  C08G77/16 ,  G03F1/12 ,  G03F7/004 ,  G03F7/038
FI (6件)：
G03F7/075 511 ,  C08G77/16 ,  G03F1/12 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/004 503Z ,  G03F7/038 503
Fターム (58件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA10 ,  2H025AA13 ,  2H025AA14 ,  2H025AA16 ,  2H025AB15 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025BD48 ,  2H025BD53 ,  2H025BE00 ,  2H025CA48 ,  2H025CC03 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  2H025FA35 ,  2H095AA01 ,  2H095AB25 ,  4J246AA03 ,  4J246AB11 ,  4J246BA12X ,  4J246BA120 ,  4J246BA16X ,  4J246BA160 ,  4J246BA310 ,  4J246BB02X ,  4J246BB020 ,  4J246BB021 ,  4J246CA130 ,  4J246CA14X ,  4J246CA210 ,  4J246CA220 ,  4J246CA390 ,  4J246CA40X ,  4J246CA53M ,  4J246CA54M ,  4J246CA54X ,  4J246CA540 ,  4J246CA67U ,  4J246CA69U ,  4J246CA69X ,  4J246FA071 ,  4J246FA131 ,  4J246FA441 ,  4J246FE02 ,  4J246GA01 ,  4J246GB32 ,  4J246GC12 ,  4J246GC37 ,  4J246GC38 ,  4J246GC46 ,  4J246GC47 ,  4J246GD08 ,  4J246HA15
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (4件)
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