特許
J-GLOBAL ID：200903096301167973
コンタクタ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-241036
公開番号（公開出願番号）：特開2000-055936
出願日： 1998年08月12日
公開日（公表日）： 2000年02月25日
要約：
【要約】【課題】 従来のプローブカードは複数のプローブ針がそれぞれ個別に片持ち支持されているため、プローブ針の支持構造が極めて複雑で、電極パッドの種々の配列に即してプローブ針の配列を変えることが難しく、プローブ針の配列の自由度が低く、しかも、検査時の熱的影響によりプローブ針の針先位置が狂い易い。【解決手段】 本発明のコンタクタ1は、16個または32個のチップと同時に接触して複数回でウエハの電気的検査を行うもので、シリコン基板2の表面に配列された複数の第1電極3と、これら電極3にそれぞれ設けられたプローブ端子4とを備え、プローブ端子4は、第1電極上に立設された導電性支持柱7と、この導電性支持柱7上端で導通自在に片持ち支持されたカンチレバーバネ8と、このカンチレバーバネ8の自由端部で支持されたバンプ9とを有する。
請求項（抜粋）：
基板の一方の面の中央領域に配列された複数の第1電極と、これらの電極にそれぞれ設けられたプローブ端子と、これらのプローブ端子及び第1電極に対応して上記基板の他方の面の周縁領域に配列された複数の第2電極と、これらの第2電極とテスタ側の配線基板とを電気的に接続する弾性接続部材とを備え、被検査体に形成された複数の素子に複数回に分けて接触して上記被検査体の電気的特性検査を行うコンタクタであって、上記プローブ端子は、第1電極上に立設された導電性支持部材と、この導電性支持部材上端で導通自在に片持ち支持された弾性支持プレートと、この弾性支持プレートの自由端部で支持されたバンプとを有することを特徴とするコンタクタ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 1/073 F
, H01L 21/66 B
2G011AA16
, 2G011AA21
, 2G011AB01
, 2G011AB06
, 2G011AB08
, 2G011AC14
, 2G011AE03
, 2G011AF01
, 4M106AA01
, 4M106AA02
, 4M106BA01
, 4M106BA14
, 4M106DD03
, 4M106DD04
, 4M106DD09
, 4M106DD10
, 4M106DD16
, 4M106DJ32
