特許
J-GLOBAL ID：200903096363708652

発光素子およびその製造方法

発明者：
浅川 鋼児

浅川 鋼児 について

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藤本 明

藤本 明 について

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杉山 仁

杉山 仁 について

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大橋 健一

大橋 健一 について

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戸野谷 純一

戸野谷 純一 について

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鈴木 啓之

鈴木 啓之 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (1件)： 松山 允之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-379576
公開番号（公開出願番号）：特開2003-258296
出願日： 2002年12月27日
公開日（公表日）： 2003年09月12日
要約：
【要約】【課題】 発光素子等の表面にナノメートルサイズの凹凸構造を形成し、発光効率特性を改善する。【解決手段】 本発明の発光素子表面の凹凸は、バルクから屈折率が滑らかに変化するように次の形にする。すなわち、(1)凹凸の平均直径は、光波長より小さい。(2)凹凸のピッチは、不規則性を持たせる。(3)凹凸の高さおよび底面の位置は、屈折率の滑らかな傾斜を持たせるため、光波長以下で平均値から幅を持たせる。このような素子表面は、ブロックコポリマーまたはグラフトコポリマーを含有し、ミクロ相分離構造を自己組織的に形成する樹脂組成物を用いて発光素子の表面に薄膜を形成し、表面に形成された該薄膜のミクロ相分離構造の少なくとも一方の相を選択的に除去し、残余の相をエッチングマスクとして用いて該発光素子の表面をエッチングすることによって得られる。
請求項（抜粋）：
発光素子を構成する半導体層の光放射側最外層表面または該光放射側最外層上に形成された無機光透過性層表面に微細な凹凸が施された素子であり、該表面が下記の2条件を備えた表面性を有することを特徴とする発光素子。(1)凹凸の凸部の平均回転半径〈R〉(ただし、〈R〉=ΣR2nR/ΣRnR、nRは任意の回転半径を有する凸部の個数)は、光波長の1/20以上1/2以下で、かつ、その回転半径の分散度σR(ただし、σR=〈R〉/(ΣRnR/ΣnR)、nRは任意の回転半径を有する凸部の個数)が、1.05以上2以下であること。(2)凹凸の凸部の平均高さ〈H〉(ただし、〈H〉=ΣH2nH/ΣHnH、nRは任意の高さ有する凸部の個数)は、光波長の1/10以上1以下で、その高さの分散度σH(ただし、σH=〈H〉/(ΣHnH/ΣnH)、nRは任意の高さ有する凸部の個数)が、1.05以上2以下であること。
IPC (2件)：
H01L 33/00 ,  H01L 21/3065
FI (2件)：
H01L 33/00 B ,  H01L 21/302 104 H
Fターム (20件)：
5F004BB13 ,  5F004DA01 ,  5F004DA04 ,  5F004DA11 ,  5F004DA23 ,  5F004DA26 ,  5F004DB23 ,  5F004EA28 ,  5F004EA37 ,  5F004EA38 ,  5F004EA40 ,  5F041AA03 ,  5F041CA04 ,  5F041CA12 ,  5F041CA34 ,  5F041CA35 ,  5F041CA37 ,  5F041CA74 ,  5F041CA77 ,  5F041CB36
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 半導体発光素子の製法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-108171   出願人：ローム株式会社
  • 特開平4-354382号公報
審査官引用 (6件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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