特許
J-GLOBAL ID：200903096503523313

薄板検査装置

発明者：
銭尾 和之

銭尾 和之 について


出願人/特許権者：
ミツテック株式会社

ミツテック株式会社 について


代理人 (1件)： 天野 一規
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-250098
公開番号（公開出願番号）：特開2008-070272
出願日： 2006年09月14日
公開日（公表日）： 2008年03月27日
要約：
【課題】薄板の表面及び端面の検査が可能であり、検査精度及び検査速度が促進され、その結果薄板の大量生産性に寄与する薄板検査装置の提供を目的とする。【解決手段】本発明の薄板検査装置は、被検査物である薄板を載置する検査台と、検査台の上方に配設され、薄板に照明光線を照射する照明系と、検査台の上方に配設され、薄板を撮影するデジタルカメラとを備える薄板検査装置である。上記検査台は、法線が斜め上方を向くよう傾斜した鏡面を有する基台部と、その鏡面の前方に薄板を略水平に配置する架台部とを有している。上記基台部の鏡面を上下辺が略水平に配設される方形に形成し、上記架台部を基台部の鏡面に貼設されるプリズムとし、このプリズムは鏡面上辺より下方に位置する略水平面を有するとよい。上記基台部及びプリズムを断面が相似直角三角形の三角柱状に形成し、対偶する側面を平行に貼設するとよい。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被検査物である薄板を載置する検査台と、 検査台の上方に配設され、薄板に照明光線を照射する照明系と、 検査台の上方に配設され、薄板を撮影するデジタルカメラと を備え、 上記検査台は、 法線が斜め上方を向くよう傾斜した鏡面を有する基台部と、 その鏡面の前方に薄板を略水平に配置する架台部と を有している薄板検査装置。
IPC (2件)：
G01N 21/88 ,  G01B 11/30
FI (2件)：
G01N21/88 Z ,  G01B11/30 A
Fターム (26件)：
2F065AA49 ,  2F065BB13 ,  2F065CC02 ,  2F065CC06 ,  2F065CC31 ,  2F065FF41 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL11 ,  2F065LL46 ,  2F065MM03 ,  2F065PP11 ,  2G051AA90 ,  2G051AB08 ,  2G051BB01 ,  2G051BB11 ,  2G051BB20 ,  2G051CA04 ,  2G051CA06 ,  2G051CB01 ,  2G051CC11 ,  2G051CC20
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (1件)

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