露光ヘッドおよび露光装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：柳田征史 , 佐久間剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-320841
公開番号（公開出願番号）：特開2004-157219
出願日： 2002年11月05日
公開日（公表日）： 2004年06月03日
要約：

【課題】ランプ光源を用いても安価に形成され、またランプ寿命も長く確保され、そして消費電力も低く抑えられる露光ヘッドおよび露光装置を得る。【解決手段】露光面56に対して所定方向と交差する方向に移動される露光ヘッドを、照射された光を各々制御信号に応じて変調する多数の画素部が2次元状に配列されてなる複数の空間光変調素子50と、これらの空間光変調素子50の1つに対して1個ずつ設けられた複数のランプ光源66と、該ランプ光源66から発せられた光を空間光変調素子50に照射させる照射光学系67と、複数の空間光変調素子50によって空間変調された光が担う像を露光面56上に結像させる結像光学系51とから露光ヘッドを構成する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

露光面に対して所定方向と交差する方向に移動される露光ヘッドであって、照射された光を各々制御信号に応じて変調する多数の画素部が2次元状に配列されてなる複数の空間光変調素子と、これらの空間光変調素子の1つに対して1個ずつ設けられた複数のランプ光源と、該ランプ光源から発せられた光を前記空間光変調素子に照射させる照射光学系と、前記複数の空間光変調素子によって空間変調された光が担う像を前記露光面上に結像させる結像光学系とからなる露光ヘッド。

IPC (7件)：

G03F7/20 , B41J2/445 , G02B26/10 , G02B27/18 , G02B27/28 , H01L21/027 , H04N1/036

FI (8件)：

G03F7/20 501 , G02B26/10 B , G02B26/10 G , G02B27/18 Z , G02B27/28 Z , H04N1/036 A , B41J3/21 V , H01L21/30 502D

Fターム (28件)：

2C162AE23 , 2C162AE28 , 2C162AE40 , 2C162AE48 , 2C162FA09 , 2C162FA10 , 2H045AG09 , 2H045BA26 , 2H045BA32 , 2H097AA03 , 2H097CA12 , 2H097LA09 , 2H099AA00 , 2H099BA09 , 2H099CA02 , 2H099CA08 , 2H099DA05 , 5C051AA03 , 5C051BA01 , 5C051CA07 , 5C051DB01 , 5C051DB06 , 5C051DB22 , 5C051DB30 , 5F046CB02 , 5F046CB18 , 5F046DA06 , 5F046DA11

引用特許：

審査官引用 (4件)

画像露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-069872 出願人：富士写真フイルム株式会社
露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-346753 出願人：オリンパス光学工業株式会社
写真焼付装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-329869 出願人：ノーリツ鋼機株式会社

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