開口部を有する誘電体で覆われた電極を有するグロープラズマ放電装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：古谷馨 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-570809
公開番号（公開出願番号）：特表2002-525798
出願日： 1999年09月15日
公開日（公表日）： 2002年08月13日
要約：

【要約】グローからアークへの遷移を抑制することにより、グロープラズマ放電を安定にする方法また装置である。この方法及び装置は、上部表面と下部表面、及び、それらを貫通して延びる1つ以上の穴を有する多孔性のまたは開口部を有する誘電体プレートを含む。多孔性の誘電体プレート(130)は、陰極(120)上に配置される。各穴は、全体の電流密度がグローからアークへの遷移についての閾値を超えて増加するのを阻止する、個別のアクティブな電流制限微小流路として動作する。これにより、広範囲の動作圧力、及び、DC電界や強度が変化するRF電界を含む広範囲の電界において、安定なグロー放電を維持することができる。他の実施態様では、装置は、開口誘電体が電極上に配置されるところのACグロープラズマ放電装置から構成される。開口誘電体は、それ自体を貫通して延びる1つ以上の開口部または細穴を有することができる。

請求項（抜粋）：

グロープラズマ放電を生成して維持するためのグロープラズマ放電装置において、一対の電極であって、それらの間に空間を有した関係で対向して配置された、一対の電極と、前記空間を部分的に占有するようにして、前記電極の一方の電極上に配置された誘電体と、前記誘電体に形成された少なくとも1つの開口部と、前記電極間に生成される電界からなる、装置。

IPC (2件)：

H05H 1/24 , B01J 19/08

FI (2件)：

H05H 1/24 , B01J 19/08 E

Fターム (14件)：

4G075AA22 , 4G075AA42 , 4G075AA70 , 4G075CA16 , 4G075CA47 , 4G075DA02 , 4G075DA03 , 4G075EB41 , 4G075EC21 , 4G075EE01 , 4G075FA14 , 4G075FB02 , 4G075FB04 , 4G075FC15

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開平2-050969
プラズマ処理方法およびその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-160915 出願人：松下電工株式会社, 岡崎幸子, 小駒益弘
大気圧プラズマ用電極
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-117514 出願人：イーシー化学株式会社, 岡崎幸子, 小駒益弘

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