位置検出装置、該装置を備えた露光装置、及び該装置を用いたデバイスの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大森聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-245111
公開番号（公開出願番号）：特開平11-087222
出願日： 1997年09月10日
公開日（公表日）： 1999年03月30日
要約：

【要約】【課題】低段差マークのような被検パターンをサーチアライメント、及びファインアライメントのような複数種類の検出方式で検出する。【解決手段】光ファイバ4からの照明光束ILが、ハーフプリズム6、第1対物レンズ7等を介してウエハマークWMを照明し、ウエハマークWMで反射、回折された結像光束が、第1対物レンズ7、ハーフプリズム6、第2対物レンズ11等を介して指標板12上にウエハマーク像を形成し、指標板12を通過した結像光束がリレーレンズ13,14等を経て撮像素子16,17上にウエハマーク像を再結像する。サーチアライメント時には、照明光束上に小σ値の第1照明開口絞り27を配置し、結像光束上に対応する第1位相差板31を配置する。ファインアライメント時には、照明光束上に大σ値の第2照明開口絞り30を配置し、結像光束上に対応する第2位相差板32を配置する。

請求項（抜粋）：

一つ又は複数個の被検パターンが形成された試料の前記被検パターンの位置を検出する位置検出装置において、前記試料の前記被検パターンを照明する照明系と、該照明系による照明光束を規定するための互いに異なる形状の第1、及び第2の照明開口絞りと、該第1の照明開口絞りを通過した第1の照明光束、又は該第2の照明開口絞りを通過した第2の照明光束の何れかを選択して前記被検パターンに導く照明系選択部材と、前記被検パターンからの光を集光する集光系と、該集光系により導かれる光の光路上で、前記第1の照明開口絞りと実質的に共役な位置に配置され前記第1の照明開口絞りの開口に対応する位相分布を有する第1の位相差付与部材と、前記集光系により導かれる光の光路上で、前記第2の照明開口絞りと実質的に共役な位置に配置され前記第2の照明開口絞りの開口に対応する位相分布を有する第2の位相差付与部材と、前記第1の位相差付与部材を通過した光、又は前記第2の位相差付与部材を通過した光の何れかを選択する集光系選択部材と、該集光系選択部材で選択された光を光電検出する光電検出器と、を備え、該光電検出器の検出信号に基づいて前記被検パターンの位置を検出することを特徴とする位置検出装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 9/00

FI (3件)：

H01L 21/30 525 N , G03F 9/00 H , H01L 21/30 525 R

引用特許：

審査官引用 (5件)

アライメント装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-205307 出願人：株式会社ニコン
位置検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-136783 出願人：株式会社ニコン
位置検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-292313 出願人：株式会社ニコン

全件表示

前のページに戻る