特許
J-GLOBAL ID：200903096750122917

走査プローブ顕微鏡におけるフォトセンサ位置調整装置

発明者：
中本圭一

中本圭一 について


出願人/特許権者：
日本電子株式会社

日本電子株式会社 について


代理人 (1件)： 青木 健二 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-252967
公開番号（公開出願番号）：特開平10-096737
出願日： 1996年09月25日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：
【要約】【目的】簡易かつ安価な構成で、フォトダイオード等のフォトセンサの位置調整を真空外部から簡単に行うことができるようにする。【構成】AFMヘッド7および試料9を覆った真空ベルジャ4内の空間の真空排気時に生じるカンチレバー2のたわみにより、カンチレバー2からの反射光の位置がずれた場合は、真空外部から位置調整用つまみ18を回すと、歯車伝達機構17、駆動側ギヤ16および従動側ギヤ15を介して粗動スクリュー6が回動し、フォトダイオード4の上下位置が調整される。また、大気中でのフォトダイオード4の上下位置調整も、同様に位置調整用つまみ18を回すことにより行われる。ヘッド固定機構13によるAFMヘッド7の固定を解除し、AFMヘッド7を図1の紙面と直交する方向に移動させることにより、両ギヤ15,16の噛み合いが解除されて、AFMヘッド7は本体12から簡単に取り外される。
請求項（抜粋）：
試料を走査する探針を有するカンチレバーに、光源から放出される光線を照射するとともに、前記カンチレバーにおいて反射した前記光線の反射光をフォトセンサによって受光することにより、真空中においてまたは大気中および前記真空中のいずれにおいても前記試料の観察を行うようになっている走査プローブ顕微鏡において、前記フォトセンサを支持するフォトセンサ支持台を移動させる移動スクリューと、前記真空外部に設けられて前記移動スクリューを回転させる回転操作力を発生する操作手段と、前記移動スクリューに取り付けられた従動側ギヤと、大気と気密にシール可能に設けられ、前記従動側ギヤに噛み合って前記回転操作力をこの従動側ギヤに伝達する駆動側ギヤと、前記駆動側ギヤに前記回転操作力を伝達する歯車伝達機構とを備えていることを特徴とする走査プローブ顕微鏡におけるフォトセンサ位置調整装置。
IPC (2件)：
G01N 37/00 ,  G01B 21/30
FI (2件)：
G01N 37/00 F ,  G01B 21/30 Z
引用特許：
審査官引用 (4件)
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