特許
J-GLOBAL ID：200903096958525616

デチャックの音響検出及びその装置

発明者：
フィッシャー, アンドレアス

フィッシャー, アンドレアス について


出願人/特許権者：
ラム リサーチ コーポレーション

ラム リサーチ コーポレーション について


代理人 (4件)： 大塚 康徳 ,  高柳 司郎 ,  大塚 康弘 ,  木村 秀二
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-575998
公開番号（公開出願番号）：特表2004-534384
出願日： 2002年03月21日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
要約：
真空処理チャンバでは、監視機構によって、静電クランプにより基板が十分にデチャックされたときに、ピンリフター(pin lifter)等の搬送機構によってその安全な移動が可能となる。監視機構は、基板の共振周波数の音波を出力する音響発生器を含み、音波が基板に吸収されたときにデチャック状態(dechucking condition)が検出される。この機構は、プラズマエッチング又は化学気相成長等のウエハ処理中に用いられうる。
請求項（抜粋）：
静電チャックのデチャックを検出するための装置であって、 その支持面上に半導体基板を静電気的にクランプするように構成された静電チャックを含む基板支持体と、 前記半導体基板に音響信号を伝達するように構成された音響信号発生器と、 前記半導体基板の第1状態と第2状態とを検出するように構成された検出器と、を備え、 前記第1状態は前記半導体基板が静電気的にクランプされているときに検出され、前記第2状態は前記半導体基板全体が静電気的にクランプされていないときに前記検出器によって検出されることを特徴とする装置。
IPC (3件)：
H01L21/68 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065
FI (3件)：
H01L21/68 R ,  H01L21/205 ,  H01L21/302 101G
Fターム (18件)：
5F004AA16 ,  5F004BB32 ,  5F004BD04 ,  5F004DB01 ,  5F031CA02 ,  5F031HA16 ,  5F031HA33 ,  5F031HA39 ,  5F031JA01 ,  5F031JA21 ,  5F031JA45 ,  5F031LA15 ,  5F031MA28 ,  5F031MA32 ,  5F045AA03 ,  5F045AF03 ,  5F045BB20 ,  5F045EM01
引用特許：
審査官引用 (5件)
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