真空容器内壁表面の改質方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-301077
公開番号（公開出願番号）：特開2004-137522
出願日： 2002年10月15日
公開日（公表日）： 2004年05月13日
要約：

【課題】安定した超高真空圧力雰囲気を可能とする真空容器を実現する。【解決手段】銅と窒化ホウ素の混合体をターゲットとし、真空容器の内壁表面に銅と窒化ホウ素を同時にスパッタ蒸着して銅と窒化ホウ素の混合膜を真空容器内壁表面に形成させる。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

銅と窒化ホウ素の混合体をターゲットとし、真空容器の内壁表面に銅と窒化ホウ素を同時にスパッタ蒸着して銅と窒化ホウ素の混合膜を真空容器内壁表面に形成させることを特徴とする真空容器内壁表面の改質方法。

IPC (2件)：

C23C14/06 , C23C14/00

FI (2件)：

C23C14/06 L , C23C14/00 B

Fターム (5件)：

4K029AA26 , 4K029BA64 , 4K029CA05 , 4K029DA09 , 4K029DC15

引用特許：

審査官引用 (5件)

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