レジスト除去用接着シ-ト類とレジスト除去方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：祢▲ぎ▼元邦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-125640
公開番号（公開出願番号）：特開平9-311464
出願日： 1996年05月21日
公開日（公表日）： 1997年12月02日
要約：

【要約】【課題】物品上の不要となつたレジスト膜画像を、その種類や性状に関係なく、接着シ-ト類を用いて簡便にかつ確実に除去し、また除去後に物品上にパ-テイクルが残らなくなるようにする。【解決手段】レジスト除去用接着シ-ト類として、フイルム基材上に光硬化型接着剤層を設け、この接着剤層中にN-メチロ-ル(メタ)アクリルアミドまたはその誘導体を含ませてなるものを使用し、この接着シ-ト類をレジスト膜画像が存在する物品上に貼り付け、この接着シ-ト類を光硬化させたのち、この接着シ-ト類とレジスト材とを一体に剥離して、物品上のレジスト材を除去する。

請求項（抜粋）：

フイルム基材上に光硬化型接着剤層が設けられてなり、かつ上記の接着剤層中につぎの一般式(1);CH2 =CR1 CONHCH2 OR2 ...(1)〔式中、R1 は水素またはメチル基であり、R2 は水素またはCn H2n+1基(n=1〜4)である〕で表わされるN-メチロ-ル(メタ)アクリルアミドまたはその誘導体が含まれていることを特徴とするレジスト除去用接着シ-ト類。

IPC (6件)：

G03F 7/42 , C09J 7/02 JJU , C09J 7/02 JJW , C09J 7/02 JKF , C09J 7/02 JLE , H01L 21/027

FI (6件)：

G03F 7/42 , C09J 7/02 JJU , C09J 7/02 JJW , C09J 7/02 JKF , C09J 7/02 JLE , H01L 21/30 572 Z

引用特許：

出願人引用 (8件)

画像除去方法、及びそれに用いる硬化型感圧性接着剤あるいは接着シート類
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-292612 出願人：日東電工株式会社
特開平4-345015
レジスト除去方法および硬化型感圧接着シ-ト類
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-212176 出願人：日東電工株式会社, 株式会社日立製作所

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