特許
J-GLOBAL ID：200903097406900761

露光装置

発明者：
平野 真一

平野 真一 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-131413
公開番号（公開出願番号）：特開2000-323391
出願日： 1999年05月12日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：
【要約】【課題】ジョブキューテーブルを有する露光装置のスループットを向上させる。【解決手段】 レチクルステージ3と、レチクル待機位置12〜16と、当該露光装置内でレチクルを搬送するためのレチクル搬送手段15と、ロット処理の実行順番を登録するジョブキューテーブルとを備え、複数のレチクルをジョブキューテーブルの情報に基づく順序で前記レチクルステージ上に配置して、そのレチクルの像を被露光基板上に転写する露光装置において、前記複数の各レチクルの配置場所を前記ジョブキューテーブルの情報に基づいて決定する手段18,19を設ける。
請求項（抜粋）：
レチクルステージと、1つ以上のレチクル待機位置と、当該露光装置内でレチクルを搬送するためのレチクル搬送手段と、ロット処理の実行順番を登録するジョブキューテーブルとを備え、複数のレチクルをジョブキューテーブルの情報に基づく順序で前記レチクルステージ上に配置して、そのレチクルの像を被露光基板上に転写する露光装置において、前記複数の各レチクルの配置場所を前記ジョブキューテーブルの情報に基づいて決定することを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521
FI (2件)：
H01L 21/30 503 E ,  G03F 7/20 521
Fターム (8件)：
5F046AA21 ,  5F046BA05 ,  5F046CD02 ,  5F046CD04 ,  5F046CD06 ,  5F046DA06 ,  5F046DA29 ,  5F046DD06
引用特許：
出願人引用 (5件)
  • 露光方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-323550   出願人：株式会社ニコン
  • 半導体製造装置およびデバイス製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-330950   出願人：キヤノン株式会社
  • 露光装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-098018   出願人：株式会社ニコン
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審査官引用 (5件)
  • 露光方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-323550   出願人：株式会社ニコン
  • 半導体製造装置およびデバイス製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-330950   出願人：キヤノン株式会社
  • 露光装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-098018   出願人：株式会社ニコン
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