ウェハのアライナー装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：飯田昭夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-190746
公開番号（公開出願番号）：特開2003-163258
出願日： 2002年06月28日
公開日（公表日）： 2003年06月06日
要約：

【要約】【課題】ウェハを確実に把持することによってウェハの位置ずれを防止して高速回転でノッチ又はオリフラ位置を検出するアライナー装置を提供すること。【解決手段】アライナー装置1は、機台10と、ウェハ3の受け渡しアーム部20と保持クランパ30とを有して構成する。保持クランパ30は、アッパアーム部33,34,35を有してウェハ3を把持可能に構成し、昇降駆動部15によって昇降可能に構成するとともに、開閉駆動部16によって一方のアッパアーム部33を水平方向に移動可能に構成する。これによって、受け渡しアーム部20に載置されたウェハ3を、保持クランパ30で把持して1回転することによって検出部でノッチの位置を検出して、ノッチを基準回転位置に移動する。さらに、一方のアッパアーム部33に係合爪を配置して、ウェハ3を把持する際には、係合爪をウェハ3のノッチに係合させることもできる。

請求項（抜粋）：

ウェハを保持して回転可能に配置される保持手段と、ロボットから搬送されたウェハを保持して前記保持手段に受渡しする受渡し手段と、前記ウェハの回転中にノッチまたはオリフラ位置を検出する検出手段と、を備え、前記ウェハのノッチまたはオリフラ位置を基準回転位置に一致させるように構成されたウェハのアライナー装置であって、前記受渡し手段は、ウェハ保持部を有するとともに、第1回転駆動手段によって所定角度回転可能に構成され、前記保持手段は、前記受渡し手段のウェハ保持部を間にして昇降可能なウェハ把持部を有して第2回転駆動手段によって回転可能に構成され、かつ昇降駆動手段によって前記ウェハを前記受渡し手段のウェハ保持位置から前記ウェハの回転可能な上方位置に移動可能に構成されるとともに、前記ウェハのエッジを把持または把持解除するための開閉駆動手段によって開閉可能に構成されていることを特徴とするウェハのアライナー装置。

Fターム (25件)：

5F031CA02 , 5F031FA01 , 5F031FA07 , 5F031FA12 , 5F031FA15 , 5F031GA02 , 5F031HA24 , 5F031HA27 , 5F031HA30 , 5F031HA52 , 5F031HA58 , 5F031HA59 , 5F031JA05 , 5F031JA15 , 5F031JA34 , 5F031JA35 , 5F031KA11 , 5F031KA13 , 5F031KA14 , 5F031LA11 , 5F031LA12 , 5F031LA13 , 5F031LA15 , 5F031PA16 , 5F031PA23

引用特許：

審査官引用 (5件)

薄型ワークの立直装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-248924 出願人：株式会社メックス
基板回転保持装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-125809 出願人：株式会社東芝
ステージ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-013638 出願人：ウシオ電機株式会社

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