特許
J-GLOBAL ID：200903097764498835
固体撮像装置および固体撮像装置の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-140798
公開番号（公開出願番号）：特開2005-322824
出願日： 2004年05月11日
公開日（公表日）： 2005年11月17日
要約：
【課題】受光部の上方に光導波路領域を備える固体撮像装置において、製造時の受光面に対するダメージを防止して、受光部の性能劣化を抑制すること。【解決手段】本発明は、半導体基板1上に設けられる受光部2と、半導体基板1上を覆う絶縁膜3と、絶縁膜3の受光部2上方に対応する位置に設けられる光導波路領域4とを備える固体撮像装置において、光導波路領域4における受光部2側の端部と受光部2の受光面2aとの間に所定の間隔が設けられているものである。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
半導体基板上に設けられる受光部と、前記半導体基板上を覆う絶縁膜と、前記絶縁膜の前記受光部上方に対応する位置に設けられる光導波路領域とを備える固体撮像装置において、
前記光導波路領域における前記受光部側の端部と前記受光部の受光面との間に所定の間隔が設けられている
ことを特徴とする固体撮像装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L27/14 D
, H04N5/335 U
4M118AA01
, 4M118AA10
, 4M118AB01
, 4M118BA09
, 4M118FA06
, 4M118GD04
, 4M118GD11
, 5C024CX03
, 5C024CX37
, 5C024GX03
, 5C024GX12
, 5C024GY01
出願人引用 (2件)
審査官引用 (6件)
全件表示
前のページに戻る
