特許
J-GLOBAL ID：200903097775840713

スペーサ散布装置

発明者：
師岡 勝也

師岡 勝也 について


出願人/特許権者：
ローム株式会社

ローム株式会社 について


代理人 (1件)： 松尾 憲一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-197309
公開番号（公開出願番号）：特開2000-029036
出願日： 1998年07月13日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：
【要約】【課題】 液晶パネルの製造に使用される、ガラス基板にスペーサを散布するスペーサ散布装置において、スペーサ散布液を散布後、スペーサ散布液中のアルコールと水の揮発に要する時間のばらつきがおおきく、スペーサの散布が不均一となる。【解決手段】 ガラス基板に散布する前のスペーサ散布液をあらかじめ加温装置により加温しておく。
請求項（抜粋）：
ヒーター(9)と、温度センサー(10)と、温度コントロール部(11)とを配設した散布槽(B)と、散布液タンク部(1)と、循環ポンプ(2)と、散布ノズル(3)と、循環パイプ(4)とをスペーサ散布液(5)が循環すべく構成した散布液循環部(C)とからなる液晶用スペーサ散布装置において、散布液タンク部(1)にスペーサ散布液(5)を加温する加温装置(7)を設けたことを特徴とするスペーサ散布装置。
Fターム (4件)：
2H089LA07 ,  2H089NA06 ,  2H089NA60 ,  2H089QA14
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (4件)
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