特許
J-GLOBAL ID：200903097899856650

タンデム型薄膜光電変換装置とその製造方法

発明者：
福田 丞

福田 丞 について

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多和田 裕子

多和田 裕子 について

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小井 洋平

小井 洋平 について

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山本 憲治

山本 憲治 について


出願人/特許権者：
鐘淵化学工業株式会社

鐘淵化学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 深見 久郎 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-380062
公開番号（公開出願番号）：特開2003-347572
出願日： 2002年12月27日
公開日（公表日）： 2003年12月05日
要約：
【要約】【課題】 タンデム型薄膜光電変換装置の変換効率をさらに改善する。【解決手段】 タンデム型薄膜光電変換装置は、透明絶縁基板(1)上に順次堆積された透明電極(2)、複数の光電変換ユニット(11、12)、および裏面電極(13)を含み、それら複数の光電変換ユニット(11、12)の間の少なくとも1つの境界において光を部分的に反射しかつ透過する中間層(3)が挿入されており、中間層(3)は10〜90nmの範囲内の平均厚さを有し、中間層(3)の上面は10〜50nmの範囲内にある平均凹凸ピッチを有する表面凹凸形状を含んでいる。
請求項（抜粋）：
透明絶縁基板上に順次堆積された透明電極、複数の光電変換ユニット、および裏面電極を含み、前記複数の光電変換ユニットの間の少なくとも1つの境界において光を部分的に反射しかつ部分的に透過する中間層が挿入されており、前記中間層は10〜90nmの範囲内の平均厚さを有し、前記中間層の上面は10〜50nmの範囲内にある第一の平均凹凸ピッチを有する第一の表面凹凸形状を含んでいることを特徴とするタンデム型薄膜光電変換装置。
IPC (2件)：
H01L 31/04 ,  C23C 16/40
FI (3件)：
C23C 16/40 ,  H01L 31/04 W ,  H01L 31/04 Y
Fターム (37件)：
4K030AA07 ,  4K030AA11 ,  4K030AA20 ,  4K030BA11 ,  4K030BA30 ,  4K030BA42 ,  4K030BA45 ,  4K030BA47 ,  4K030CA06 ,  4K030CA12 ,  4K030FA02 ,  4K030FA10 ,  4K030LA04 ,  4K030LA16 ,  5F051AA03 ,  5F051AA04 ,  5F051AA05 ,  5F051BA14 ,  5F051CA02 ,  5F051CA03 ,  5F051CA04 ,  5F051CA15 ,  5F051CB04 ,  5F051CB11 ,  5F051CB12 ,  5F051CB15 ,  5F051CB27 ,  5F051CB30 ,  5F051DA04 ,  5F051DA18 ,  5F051DA20 ,  5F051FA03 ,  5F051FA06 ,  5F051GA03 ,  5F051GA14 ,  5F051HA07 ,  5F051KA09
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 特開昭58-57756号公報
  • 光起電力装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-207908   出願人：三洋電機株式会社
審査官引用 (11件)
  • 光起電力装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-207908   出願人：三洋電機株式会社
  • 半導体素子の製法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-161270   出願人：京セラ株式会社
  • 光起電力装置及びその製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-100573   出願人：三洋電機株式会社
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