特許
J-GLOBAL ID:200903098154764068
単結晶および単結晶の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
細田 益稔
, 青木 純雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-340614
公開番号(公開出願番号):特開2005-239535
出願日: 2004年11月25日
公開日(公表日): 2005年09月08日
要約:
【課題】マイクロ引き下げ法により、組成変動が少なく、高周波発生素子製造の際の歩留りを高くできる好適な酸化物あるいはフッ化物単結晶を量産可能とする製造方法を提供する。【解決手段】ノズル部13を備えたルツボ7内で単結晶の原料を溶融させ、溶融物18に対して種結晶を接触させ、溶融物をノズルの開口13から引き下げることによって単結晶を育成する。種結晶の中心軸Cをノズルの開口の中心軸Nから離間した状態で、溶融物18を引き下げる。あるいは、種結晶をノズルの開口に対して周期運動させながら溶融物18を引き下げる。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
ノズル部を備えたルツボ内で単結晶の原料を溶融させ、この溶融物に対して種結晶を接触させ、前記溶融物を前記ノズルの開口から引き下げることによって前記単結晶を育成する単結晶の製造方法であって、
前記種結晶の中心軸を前記ノズルの前記開口の中心軸から離間した状態で、前記溶融物を引き下げることを特徴とする、単結晶の製造方法。
IPC (4件):
C30B15/08
, C30B29/12
, C30B29/30
, G02F1/37
FI (4件):
C30B15/08
, C30B29/12
, C30B29/30
, G02F1/37
Fターム (21件):
2K002AB12
, 2K002BA01
, 2K002CA02
, 2K002FA11
, 4G077AA02
, 4G077AB04
, 4G077BC02
, 4G077BC08
, 4G077BC24
, 4G077BC32
, 4G077BC33
, 4G077BC37
, 4G077BC38
, 4G077BC40
, 4G077CF01
, 4G077CF02
, 4G077EG11
, 4G077EG12
, 4G077HA02
, 4G077PC02
, 4G077PH01
引用特許: