微細構造体および微細構造体の製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：磯野道造 , 多田悦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-321717
公開番号（公開出願番号）：特開2007-125665
出願日： 2005年11月07日
公開日（公表日）： 2007年05月24日
要約：

【課題】本発明の課題は、nmスケールからμmスケールに亘る微細構造内に、さらに2つ以上の相を有する微細構造体を提供することにある。【解決手段】本発明は、支持体(下地層5)と、前記支持体(下地層5)の少なくとも一方の面に形成された複数の凸部2とを有する微細構造体1Aであって、前記凸部2は、その形成材料が第1の相3と、第2の相4とに分離した相分離構造を有することを特徴とする。そして、本発明の微細構造体1Aは、微細構造体1Aの内部における各相3,4の体積分率や分子構造、凸部2の形状を変更することによって、凸部2の内部の相3,4の形状を、柱状、層状などに制御することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

支持体と、前記支持体の少なくとも一方の面に形成された複数の凸部と、を有する微細構造体であって、前記凸部は、その形成材料が2種類以上の相に分離した相分離構造を有することを特徴とする微細構造体。

IPC (6件)：

B82B 1/00 , H01L 21/027 , G02B 6/122 , B82B 3/00 , G11B 5/65 , G11B 5/84

FI (6件)：

B82B1/00 , H01L21/30 502D , G02B6/12 B , B82B3/00 , G11B5/65 , G11B5/84 Z

Fターム (21件)：

2H147AB04 , 2H147BC14 , 2H147BG04 , 2H147CC14 , 2H147CD12 , 2H147EA13C , 2H147EA16A , 2H147EA16B , 2H147FC03 , 2H147FC08 , 2H147FE02 , 5D006BB07 , 5D006BB09 , 5D006EA00 , 5D112AA05 , 5D112AA18 , 5D112AA19 , 5D112BA10 , 5D112GA20 , 5D112GA22 , 5F046AA28

引用特許：

出願人引用 (3件)

米国特許5,259,926号明細書
米国特許5,772,905号明細書
加工方法及び成形体
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-358296 出願人：株式会社東芝

審査官引用 (3件)

垂直配向ラメラ構造を有するブロック共重合体膜の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-294169 出願人：関西ティー・エル・オー株式会社
ナノ構造体、多孔質ナノ構造体および機能性ナノ構造体、並びにそれらの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-160022 出願人：古河電気工業株式会社
加工方法及び成形体
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-358296 出願人：株式会社東芝

引用文献：

審査官引用 (2件)

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