熱式流量センサ及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：恩田博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-030077
公開番号（公開出願番号）：特開2000-227353
出願日： 1999年02月08日
公開日（公表日）： 2000年08月15日
要約：

【要約】【課題】空気層の高さを確保して断熱効果を高め、ひいては空気流量の検出精度を向上させる。【解決手段】熱式空気流量センサ10の基板11の上にはブリッジ形状の絶縁層14が設けられ、基板11と絶縁層14との間には空気層15が設けられている。空気層15を形成する際、絶縁層14を焼成する温度では焼結しないペーストを用いて同ペーストを基板11上にスクリーン印刷し、絶縁層14等の形成後、ペーストを除去して空気層15とする。空気層15の高さは60μm程度となっている。絶縁層14上には所定の発熱温度で保持される発熱抵抗体12が設けられている。また、温度補償用の感温抵抗体13は基板11上に直に設けられている。

請求項（抜粋）：

基板と絶縁層との間に高さ15μm以上の空気層が設けられ、その空気層の上部にあたる絶縁層上に、所定の発熱温度で保持される発熱抵抗体が配設されることを特徴とする熱式流量センサ。

IPC (5件)：

G01F 1/68 , F02D 35/00 , F02D 45/00 366 , G01P 5/12 , H01L 29/84

FI (5件)：

G01F 1/68 , F02D 45/00 366 B , G01P 5/12 C , H01L 29/84 Z , F02D 35/00 366 E

Fターム (14件)：

2F035AA02 , 2F035EA04 , 2F035EA08 , 3G084DA04 , 3G084FA08 , 4M112AA10 , 4M112BA01 , 4M112BA10 , 4M112CA49 , 4M112CA51 , 4M112CA54 , 4M112DA13 , 4M112DA15 , 4M112FA01

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開平3-103721
特開平4-285817
特開平2-120627

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