特許
J-GLOBAL ID：200903098329082593

固体撮像装置およびその製造方法、電子情報機器

発明者：
武藤 彰良

武藤 彰良 について


出願人/特許権者：
シャープ株式会社

シャープ株式会社 について


代理人 (3件)： 山本 秀策 ,  安村 高明 ,  大塩 竹志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-097461
公開番号（公開出願番号）：特開2008-258316
出願日： 2007年04月03日
公開日（公表日）： 2008年10月23日
要約：
【課題】カラーフィルタが不要で、複数色に対応した信号電荷を別々に低電圧にて読み出し可能な高感度かつ高解像度の固体撮像装置を提供する。【解決手段】半導体基板101の深さ方向に、入射光の光吸収係数の波長依存性に対応する深さにて積層されたN層の各受光部111〜113を有する固体撮像素子100が基板平面方向に2次元状で周期的に配置されており、各受光部111〜113に到達する所定深さを有し、かつ、各受光部111〜113に対して互いに異なる一基板平面方向の辺おいてのみ隣接するようにトレンチ部111a〜113aが設けられている。このトレンチ部111a〜113aの内壁は、ゲート絶縁膜141により覆われ、トレンチ部111a〜113a内に読み出しゲート電極材料が埋め込まれており、光入射面と反対側の基板表面においてトレンチ部111a〜113aに隣接し、かつ、各受光部と離隔されて蓄積拡散層161が設けられている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
半導体基板の深さ方向に積層された複数の受光部を有する複数の固体撮像素子が基板表面に沿った方向に周期的に配列され、入射される電磁波のうち、該半導体基板材料における光吸収係数の波長依存性により各受光部の深さに対応した波長域の電磁波が該各受光部でそれぞれ検出されて信号電荷がそれぞれ生成される固体撮像装置において、 該半導体基板の光入射面または該光入射面と反対側の基板表面から、平面視で互いに重ならない受光部の位置にそれぞれ到達する各トレンチ部がそれぞれ設けられ、該各トレンチ部にそれぞれ読み出しゲート電極が設けられ、該読み出しゲート電極の駆動時に、該複数の受光部からそれぞれ該各トレンチ部の側壁部分をそれぞれ介して、該光入射面側または、該光入射面側と反対側の基板表面部側にそれぞれ独立して電荷転送可能とする電荷転送部が設けられている固体撮像装置。
IPC (3件)：
H01L 27/146 ,  H01L 27/148 ,  H04N 5/335
FI (3件)：
H01L27/14 A ,  H01L27/14 B ,  H04N5/335 U
Fターム (28件)：
4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118BA14 ,  4M118CA03 ,  4M118CA19 ,  4M118CA20 ,  4M118DA07 ,  4M118DD12 ,  4M118EA01 ,  4M118EA14 ,  4M118FA06 ,  4M118FA33 ,  4M118FA46 ,  4M118GA02 ,  4M118GC08 ,  4M118GC09 ,  5C024AX01 ,  5C024BX01 ,  5C024CX41 ,  5C024CY42 ,  5C024CY47 ,  5C024DX01 ,  5C024GX03 ,  5C024GX16 ,  5C024GY01 ,  5C024GY31 ,  5C024GZ01
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (6件)
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