特許
J-GLOBAL ID：200903098475899038
レンズ調整方法及びその装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
岩橋 文雄
, 坂口 智康
, 内藤 浩樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-021827
公開番号（公開出願番号）：特開2004-233638
出願日： 2003年01月30日
公開日（公表日）： 2004年08月19日
要約：
【課題】NAの小さいレンズに対しても高精度で調整できるレンズ調整方法及びその装置を提供すること。【解決手段】光を出射する光源と、光を光軸を含む第1の平面上で光軸に対し±ψ1度の傾きを持つ2光及び光軸を含み第1の平面と直交する第2の平面上で光軸に対し±ψ2度の傾きを持つ2光の合わせて4光に分岐する装置と、第2のレンズを光軸を法線とする平面上で駆動させる調整装置と、第1及び第2のレンズからの集光光を回折して干渉させる回折格子と、回折格子を、その格子面内で溝方向と垂直な方向の成分を含む方向へ駆動する微動ステージと、対物レンズ、結像レンズ及びCCDカメラで構成され干渉光を観察する4つの干渉像観察系と、4つの干渉像を処理して第2のレンズのディセンタに対して感度を有する収差の中の1つの収差を検出する処理装置と、検出収差から調整量を算出し、調整装置を駆動させる制御装置を有することで解決できる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
第1のレンズに対し、第2のレンズを調整するため、第1のレンズの光軸を基準の光軸として、
(a)コリメートした光を、光軸を含む第1の平面上で光軸に対し+ψ1度の傾きを持つ第1の光と光軸に対し-ψ1度の傾きを持つ第2の光、及び光軸を含み前記第1の平面と直交する第2の平面上で光軸に対し+ψ2度の傾きを持つ第3の光と光軸に対し-ψ2度の傾きを持つ第4の光の合わせて4光に分岐し、それぞれ第1及び第2のレンズで集光する工程と、
(b)上記集光された4光をそれぞれ回折格子で回折して干渉させる工程と、
(c)上記4つの干渉光から、それぞれ4つの対物レンズ瞳面上で干渉縞を形成し、結像レンズで4つのCCDカメラ受像素子へ結像する工程と、
(d)上記受像した4つの干渉像からそれぞれ第2のレンズのディセンタに対して充分な感度を持つ収差のなかの1つの収差を検出する工程と、
(e)第2のレンズの位置を光軸を法線とする平面上で所定量変化させ、変化させた位置で上記収差を検出する工程と、
(f)上記検出結果から、第2のレンズの位置変化に対する収差変化の関係を求める工程と、
(g)上記求めた関係から上記第1の光に対する収差量と上記第2の光に対する収差量が等しくなる位置及び上記第3の光に対する収差量と上記第4の光に対する収差量が等しくなる位置を算出する工程と、
(h)上記算出した位置に第2のレンズを調整する工程と
を有することを特徴とするレンズ調整方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (1件)：
引用特許：
前のページに戻る
