らせん状高周波コイルとその製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：田澤博昭 , 加藤公延 , 田澤英昭 , 濱田初音
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-054587
公開番号（公開出願番号）：特開2005-244084
出願日： 2004年02月27日
公開日（公表日）： 2005年09月08日
要約：

【課題】低損失微小の高周波コイルの加工工程を簡素化してコスト低減を図るとともに、全体の厚さを薄くする。【解決手段】凹部102を持つシリコン基板100と、凹部102の窪んだ部分の表面に接することなくそれぞれ略並行に設けられた複数の第1の金の線201〜207と、開口面にそれぞれ略並行に架設された複数の第2の金の線302〜307と、第1及び第2の金の線の端部を接続することにより連続したらせん状の高周波コイルとする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

凹部を持つ基板と、前記凹部の窪んだ部分の表面に接することなくそれぞれ略並行に設けられた複数の第1の導体線路と、前記凹部の上面部分と同一面の開口面上に設けられた絶縁体と、前記絶縁体の上面にそれぞれ略並行に架設された複数の第2の導体線路と、前記第1の導体線路の一端を前記第2の導体線路の一端に接続する第1の接続部と、前記第1の導体線路の他端を一端が接続された前記第2の導体線路の隣の第2の導体線路の一端に接続する第2の接続部とを備えたらせん状高周波コイル。

IPC (2件)：

H01F17/00 , H01F17/02

FI (2件)：

H01F17/00 C , H01F17/02

Fターム (6件)：

5E062DD00 , 5E062FF01 , 5E070BA01 , 5E070CA06 , 5E070CA15 , 5E070CB11

引用特許：

審査官引用 (16件)

特開昭52-046787
特開昭52-084452
高周波コイル装置及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-236900 出願人：ソニー株式会社

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