特許
J-GLOBAL ID：200903098709768846
感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-056522
公開番号（公開出願番号）：特開2003-255539
出願日： 2002年03月01日
公開日（公表日）： 2003年09月10日
要約：
【要約】【課題】 放射線に対する透明性が高く、感度、解像度、ドライエッチング耐性、パターン形状等のレジストとしての基本性能に優れた化学増幅型レジストとして好適な感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 感放射線性樹脂組成物は、(A)下記一般式(1-1)で表される繰り返し単位と、(メタ)アクリル酸2-エチル-2-アダマンチル、2-ノルボルニル-2-(メタ)アクリロイルオキシプロパン、(メタ)アクリル酸1-メチルシクロペンチル等で代表される(メタ)アクリル系繰り返し単位とを必須単位とし、酸の作用によりアルカリ可溶性となるアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂、および(B)感放射線性酸発生剤を含有する。【化1】〔一般式(1-1)において、R1 は水素原子またはメチル基を示す。〕
請求項（抜粋）：
(A)下記一般式(1-1)で表される繰り返し単位と下記一般式(1-2)で表される繰り返し単位とを必須単位として含有し、酸の作用によりアルカリ可溶性となるアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂、および(B)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔一般式(1-1)および一般式(1-2)において、R1 およびR2 は相互に独立に水素原子またはメチル基を示し、各R3 は相互に独立に炭素数4〜20の1価の脂環式炭化水素基もしくはその誘導体、または炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基を示し、且つR3 の少なくとも1つが該脂環式炭化水素基もしくはその誘導体であるか、あるいは何れか2つのR3 が相互に結合して、それぞれが結合している炭素原子と共に炭素数4〜20の2価の脂環式炭化水素基もしくはその誘導体を形成して、残りのR3 が炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基または炭素数4〜20の1価の脂環式炭化水素基もしくはその誘導体である。〕
IPC (4件)：
G03F 7/039 601
, C08F220/18
, C08F220/28
, H01L 21/027
G03F 7/039 601
, C08F220/18
, C08F220/28
, H01L 21/30 502 R
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AA03
, 2H025AA09
, 2H025AB16
, 2H025AC05
, 2H025AC06
, 2H025AC08
, 2H025AD03
, 2H025BE07
, 2H025BE10
, 2H025BG00
, 2H025CB13
, 2H025CB41
, 2H025CB45
, 2H025FA17
, 4J100AL08P
, 4J100AL08Q
, 4J100AL08R
, 4J100BA03Q
, 4J100BA03R
, 4J100BA11P
, 4J100BA40Q
, 4J100BC08Q
, 4J100BC09Q
, 4J100BC09R
, 4J100BC12Q
, 4J100BC53P
, 4J100CA04
, 4J100CA05
, 4J100FA03
, 4J100JA38
