特許
J-GLOBAL ID：200903098764634697

蛍光X線測定装置

発明者：
田口 武慶

田口 武慶 について


出願人/特許権者：
理学電機株式会社

理学電機株式会社 について


代理人 (1件)： 横川 邦明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-009187
公開番号（公開出願番号）：特開2000-206061
出願日： 1999年01月18日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：
【要約】【課題】 試料の微小領域からの蛍光X線情報を漏れなく確実にしかも高分解能で得ることができる蛍光X線測定装置を提供する。【解決手段】 試料Sに照射するX線を発生するX線源Fと、試料Sから発生する蛍光X線を取り込む位置に配設されたキャピラリ光学素子6と、そのキャピラリ光学素子6から出射するX線が入射する位置に配設された分光結晶3と、そしてその分光結晶3によって分光されたX線を検出するX線検出手器4とを有する蛍光X線測定装置である。キャピラリ光学素子6は、複数のキャピラリチューブ10を束ねることによって形成され、そのX線入射口6aは試料Sの微小領域を見込むようにX線出射口6bに比べて小さく形成される。
請求項（抜粋）：
試料から発生する蛍光X線を測定する蛍光X線測定装置において、試料に照射するX線を発生するX線源と、試料から発生する蛍光X線を取り込む位置に配設されたキャピラリ光学素子と、そのキャピラリ光学素子から出射するX線が入射する位置に配設された分光結晶と、そしてその分光結晶によって分光されたX線を検出するX線検出手段とを有し、前記キャピラリ光学素子は、複数のキャピラリチューブを束ねることによって形成され、そのX線入射口は前記試料の微小領域を見込むようにX線出射口に比べて小さいことを特徴とする蛍光X線測定装置。
IPC (3件)：
G01N 23/223 ,  G01N 23/06 ,  G21K 1/06
FI (3件)：
G01N 23/223 ,  G01N 23/06 ,  G21K 1/06 G
Fターム (16件)：
2G001AA01 ,  2G001AA09 ,  2G001BA04 ,  2G001BA13 ,  2G001CA01 ,  2G001DA01 ,  2G001EA02 ,  2G001GA01 ,  2G001GA04 ,  2G001HA13 ,  2G001JA05 ,  2G001JA11 ,  2G001KA01 ,  2G001KA12 ,  2G001SA01 ,  2G001SA30
引用特許：
審査官引用 (11件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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