特許
J-GLOBAL ID：200903098873133304
サンドブラスト装置及びプラズマディスプレイパネルのリブ形成方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
土井 育郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-339652
公開番号（公開出願番号）：特開2001-157966
出願日： 1999年11月30日
公開日（公表日）： 2001年06月12日
要約：
【要約】【課題】 プラズマディスプレイパネルのリブをサンドブラスト加工法でパターニングする際に大量に発生するサンドブラスト廃材の良好な再利用を図る。【解決手段】 少なくとも、基板加工室1と、基板搬送手段2と、基板に研削材を噴射する噴射ノズル3と、研削材供給手段4と、噴射ノズル3を基板搬送方向に対して直交する方向に往復動させる噴射ノズル移動手段と、加工時に生じる混合粉体中の研削材を再利用するように研削材と研削粉末を分離するための第1の分級装置5を含む研削材循環機構とを備えたサンドブラスト装置において、前記第1の分級装置5にて分離された微粉側の粒子を第1の分級装置5よりも分級点の小さい第2の分級装置6に送給し、さらに粗粉側と微粉側の粒子に分離する。第1の分級装置にて分離された微粉側の粒子を廃棄するのではなく、さらに粗粉側と微粉側の粒子に分離し、この微粉側の粒子をリブ材として利用する。
請求項（抜粋）：
基板上のリブ形成材料層を研削材により切削加工してパターニングするのに使用され、少なくとも、基板加工室と、その基板加工室の中を通過するように基板を搬送する基板搬送手段と、基板加工室の中で基板に研削材を噴射する噴射ノズルと、その噴射ノズルに研削材を供給する研削材供給手段と、噴射ノズルを基板搬送方向に対して直交する方向に往復動させる噴射ノズル移動手段と、加工時に生じる混合粉体中の研削材を再利用するように研削材と研削粉末を分離するための第1の分級装置を含む研削材循環機構とを備えたサンドブラスト装置において、前記第1の分級装置にて分離された微粉側の粒子を第1の分級装置よりも分級点の小さい第2の分級装置に送給し、さらに粗粉側と微粉側の粒子に分離することを特徴とするサンドブラスト装置。
IPC (4件)：
B24C 9/00
, B24C 1/04
, H01J 9/02
, H01J 11/02
B24C 9/00 E
, B24C 1/04 E
, B24C 1/04 F
, H01J 9/02 F
, H01J 11/02 B
5C027AA09
, 5C040GF19
, 5C040JA17
, 5C040JA21
, 5C040JA23
, 5C040JA25
, 5C040JA31
, 5C040MA26
