特許
J-GLOBAL ID:200903012672562159

三次元計測装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 川口 光男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-304350
公開番号(公開出願番号):特開2002-107125
出願日: 2000年10月04日
公開日(公表日): 2002年04月10日
要約:
【要約】【課題】計測対象物の三次元形状を位相シフト法を用いて計測するに際し、計測精度の飛躍的な向上を図ることの可能な三次元計測装置を提供する。【解決手段】印刷状態検査装置1は、クリームハンダの印刷されてなるプリント基板Kを載置するためのテーブル2と、プリント基板Kの表面に対し斜め上方から正弦波状の複数の位相変化する光パターンを照射するための照明装置3と、プリント基板Kからの反射光を波長成分毎に撮像するためのCCDカメラ4とを備えている。CCDカメラ4は、反射光を各光成分毎に分離して一度に撮像する。制御装置7は、撮像データに基づき位相シフト法によりクリームハンダの高さを演算する。このとき、最適な波長成分が採択され、当該採択された波長域でのデータが最適の撮像データとして採択され、当該撮像データに基づく演算が行われる。このため、色調等の影響を最小限に抑えることができる。
請求項(抜粋):
少なくとも計測対象物に対し、互いに異なる複数の波長成分を含み、かつ、縞状の光強度分布を有する光パターンを照射可能な照射手段と、前記光パターンの照射された計測対象物からの反射光を各波長成分毎に分離して撮像し画像データを取得可能な撮像手段と、前記計測対象物と、前記光パターンとの相対位相関係を変化させる位相変化手段と、前記位相変化手段により変化させられた複数通りの相対位相関係下において前記撮像手段にて取得された複数通りの画像データに基づき、位相シフト法により少なくとも前記計測対象物の所定の高さを演算する演算手段とを備えた三次元計測装置であって、前記演算手段は、前記複数の波長成分のうち、最適な波長成分に対応した画像データに基づき前記所定の高さを演算するものであることを特徴とする三次元計測装置。
IPC (2件):
G01B 11/24 ,  H05K 3/34 512
FI (2件):
H05K 3/34 512 B ,  G01B 11/24 K
Fターム (24件):
2F065AA24 ,  2F065AA53 ,  2F065CC01 ,  2F065CC26 ,  2F065DD02 ,  2F065DD04 ,  2F065FF04 ,  2F065GG24 ,  2F065HH01 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL02 ,  2F065LL20 ,  2F065LL30 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ24 ,  5E319CD53 ,  5E319GG15
引用特許:
審査官引用 (12件)
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