周波数変調格子による格子投影形状計測方法及び装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村興作
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-057776
公開番号（公開出願番号）：特開2003-254732
出願日： 2002年03月04日
公開日（公表日）： 2003年09月10日
要約：

【要約】【課題】シンプルな構造の装置で位相接続を行うことができる形状計測方法及び装置を提供する。【解決手段】位置によって周波数と輝度が各々周期的に変化する周波数変調格子を所定の速度で移動させながら計測対象物体に投影するステップと、前記格子が投影された計測対象物体を連続的に一定間隔で撮影するステップと、前記撮影された画像から、周波数に関する位相分布と、輝度に関する位相分布とを各々求めるステップと、前記周波数に関する位相分布と、輝度に関する位相分布とを使用して位相接続するステップと、前記位相接続した位相分布を前記計測対象物体の高さ分布に対応させるステップとを含む。

請求項（抜粋）：

物体の高さ分布を得る形状計測方法において、位置によって周波数と輝度が各々周期的に変化する周波数変調格子を所定の速度で移動させながら計測対象物体に投影するステップと、前記格子が投影された計測対象物体を連続的に一定間隔で撮影するステップと、前記撮影された画像から、周波数に関する位相分布と、輝度に関する位相分布とを各々求めるステップと、前記周波数に関する位相分布と、輝度に関する位相分布とを使用して位相接続するステップと、前記位相接続した位相分布を前記計測対象物体の高さ分布に対応させるステップとを含むことを特徴とする形状計測方法。

IPC (2件)：

G01B 11/25 , G01B 11/24

FI (2件)：

G01B 11/24 E , G01B 11/24 K

Fターム (19件)：

2F065AA24 , 2F065AA53 , 2F065BB05 , 2F065BB26 , 2F065DD03 , 2F065FF07 , 2F065GG08 , 2F065HH06 , 2F065HH12 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065KK03 , 2F065LL04 , 2F065MM14 , 2F065PP02 , 2F065PP22 , 2F065QQ00 , 2F065UU01 , 2F065UU05

引用特許：

出願人引用 (6件)

3次元情報取得装置、3次元情報取得における投影パターン、及び、3次元情報取得方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-128905 出願人：オリンパス光学工業株式会社
パターン投影計測用格子
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-275122 出願人：富士写真光機株式会社
三次元形状測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-082587 出願人：株式会社ニデック

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