表面検査装置及び表面検査方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：荒船良男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-205609
公開番号（公開出願番号）：特開2007-024623
出願日： 2005年07月14日
公開日（公表日）： 2007年02月01日
要約：

【課題】基板に反り、うねり又は厚みムラがある場合でも、基板上に形成された凸部の高さを正確に検出することを可能とする表面検査装置又は表面検査方法を提供する。【解決手段】基板の表面の一方向に沿って並設された凸部の高さを検査する表面検査装置において、前記一方向に沿って延在するライン状の光を基板の表面に照射する投光光学系4と、前記一方向の該基板に対する相対移動に伴って基板上及び凸部上反射光を交互に受光するCCD12と、CCD12の受光部をROI1とROI2とに割り当て、ROI1で受光した基板上反射光と、ROI2で受光した凸部上反射光の互いのピーク発生位置の距離に基づき凸部の高さを求める制御部14とを設け、制御部14は、いずれかの反射光のピーク発生位置の偏倚の方向及び偏倚量を求め、その偏倚を解消するようにROI1及びROI2を割り当て直すように構成する。【選択図】図7

請求項（抜粋）：

基板の表面の一方向に沿って並設された凸部の高さを検査する表面検査装置において、前記一方向に沿って延在するライン状の光を前記基板の表面に照射する投光光学系と、前記基板の一方向に対応する方向に該基板に対して相対移動可能に構成されその相対移動に伴って前記基板上反射光及び前記凸部上反射光を交互に受光する受光素子と、前記受光素子の受光部を第1の受光部と第2の受光部とに割り当て、前記第1の受光部で受光された反射光を前記基板上反射光と判定し前記第2の受光部で受光された反射光を前記凸部上反射光と判定して前記基板上反射光及び前記凸部上反射光の互いのピーク発生位置の距離に基づいて前記凸部の高さを求める制御部とを備え、前記制御部は、前記受光素子からの出力に基づいて前記第1の受光部又は前記第2の受光部における基準位置からの前記ピーク発生位置の偏倚の方向及び偏倚量を求め、その偏倚の方向及び偏倚量に基づきその偏倚を解消するように前記第1の受光部及び前記第2の受光部を割り当て直すことを特徴とする表面検査装置。

IPC (4件)：

G01B 11/02 , H01L 21/60 , H01L 21/66 , G01N 21/956

FI (4件)：

G01B11/02 H , H01L21/92 604T , H01L21/66 J , G01N21/956 Z

Fターム (45件)：

2F065AA12 , 2F065AA17 , 2F065AA19 , 2F065AA24 , 2F065CC01 , 2F065CC17 , 2F065CC26 , 2F065CC27 , 2F065DD11 , 2F065FF01 , 2F065FF02 , 2F065FF04 , 2F065FF09 , 2F065FF41 , 2F065GG02 , 2F065GG03 , 2F065GG04 , 2F065GG07 , 2F065HH05 , 2F065HH12 , 2F065JJ02 , 2F065JJ08 , 2F065JJ25 , 2F065LL12 , 2F065LL18 , 2F065LL59 , 2F065NN00 , 2F065QQ04 , 2F065QQ13 , 2F065QQ25 , 2F065QQ29 , 2F065QQ30 , 2G051AA65 , 2G051AA73 , 2G051AB10 , 2G051AB20 , 2G051BB09 , 2G051BB11 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051CC09 , 2G051DA05 , 2G051EA14 , 4M106AA11 , 4M106CA38

引用特許：

出願人引用 (1件)

バンプ検査方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-159744 出願人：株式会社クレイドル

審査官引用 (5件)

外観検査装置及び外観検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-298468 出願人：株式会社東芝
バンプ検査方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-159744 出願人：株式会社クレイドル
ウエハバンプの外観検査装置および高さ計測装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-080099 出願人：株式会社小松製作所

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