特許
J-GLOBAL ID：200903099050042350
マスクおよびその検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-340398
公開番号（公開出願番号）：特開2007-110154
出願日： 2006年12月18日
公開日（公表日）： 2007年04月26日
要約：
【課題】検査用マスクを作製せずに破壊的検査を行うことや、非破壊検査をより正確に行うことが可能となるマスクおよびその検査方法を提供する。【解決手段】露光用ビームの透過部と非透過部を所定のパターンで有する露光用薄膜2と、露光用薄膜の周囲に形成された、露光用薄膜を支持する厚膜部分3と、露光用ビームの透過部と非透過部を有し、露光用薄膜より面積が大きく、撓みが大きく、厚膜部分の一部に露光用薄膜と隔てて形成された検査用薄膜4とを有するマスクとし、また、この検査用薄膜を用いて検査を行う。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
露光用ビームの透過部と非透過部を所定のパターンで有する露光用薄膜と、
前記露光用薄膜の周囲に形成された、前記露光用薄膜を支持する厚膜部分と、
前記厚膜部分の一部に前記露光用薄膜と隔てて形成された、前記露光用ビームの透過部と非透過部を有し、前記露光用薄膜より面積が大きく、撓みが大きい検査用薄膜と
を有するマスク。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 1/00
, G03F 1/16
H01L21/30 541S
, G03F1/00 V
, G03F1/16 B
2H095BA08
, 2H095BC21
, 2H095BC26
, 2H095BD04
, 2H095BD13
, 2H095BD14
, 2H095BD15
, 2H095BD18
, 5F056AA22
, 5F056FA05
, 5F056FA10
