走査形プローブ顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-014814
公開番号（公開出願番号）：特開2001-208670
出願日： 2000年01月24日
公開日（公表日）： 2001年08月03日
要約：

【要約】【課題】探針や試料を安全にしっかりと装着側に固定できる走査形プローブ顕微鏡を提供すること。【解決手段】探針ホルダ17の吸着部19が探針装着部13の回転板15に当接される。次に、前記回転板15を左に90度ほど回転させるために、吸着部19が回転板15に当接した状態で探針ホルダ17が左に90度ほど回転される。この結果、回転板15は、90度ほど左に回転する。この状態においては、磁場遮断板14と回転板15によって容器口が完全に覆われなくなるので、その隙間から永久磁石12による磁場が外に漏れる。このため、探針ホルダ17の強磁性材料で作製された吸着部19は、探針装着部13に吸着固定される。

請求項（抜粋）：

以下の構成(a)〜(c)を備えた探針装着機構と、(a)試料室に配置された磁化容器、(b)その磁化容器の中に配置された磁石、(c)前記磁化容器の容器開口部に取り付けられ、前記磁石による磁場を遮断および漏洩可能に構成された探針装着部、強磁性材料で作製された吸着部を有する、探針を保持するための探針ホルダを備えた走査形プローブ顕微鏡であり、前記探針装着部において前記磁石による磁場がその外部に漏洩されて、前記探針ホルダの吸着部が探針装着部に吸着固定されることを特徴とする走査形プローブ顕微鏡。

IPC (2件)：

G01N 13/12 , G01N 13/16

FI (2件)：

G01N 13/12 D , G01N 13/16 C

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開平3-252502
着脱ブロックの支持法およびこれを利用する装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-304945 出願人：株式会社日立製作所
走査型プローブ顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-003865 出願人：株式会社ニコン

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審査官引用 (6件)

走査型プローブ顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-003865 出願人：株式会社ニコン
探針位置決め機構
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-113743 出願人：オリンパス光学工業株式会社
原子間力顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-265133 出願人：株式会社ニコン

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