特許
J-GLOBAL ID：200903099134817480

脆質材料の加工方法

発明者：
永元 公市

永元 公市 について

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堀米 克彦

堀米 克彦 について

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妹尾 秀男

妹尾 秀男 について


出願人/特許権者：
リンテック株式会社

リンテック株式会社 について


代理人 (1件)： 山口 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-147552
公開番号（公開出願番号）：特開2003-338475
出願日： 2002年05月22日
公開日（公表日）： 2003年11月28日
要約：
【要約】【課題】 硬質板に貼付された脆質材料を容易に剥がすことができ、且つ、剥離時における脆質材料の割れや傷の発生を回避することができるようにすること。【解決手段】 両面に粘着剤層15,15’を備えた両面粘着シート12を介して硬質板11に脆質材料10を貼付し、ユニットUを形成した。この後、ユニットUを前記粘着剤と不溶又は難溶の液体L中に浸漬させて、両面粘着シート12と脆質材料10との界面、又は、両面粘着シート12と硬質板11との界面に前記液体Lを侵入させた後、ユニットUの端部より脆質材料10を剥がした。
請求項（抜粋）：
脆質材料が両面に粘着剤層を有する両面粘着シートを介して硬質板に固定されたユニットを形成し、前記硬質板から脆質材料を剥離する工程を含む加工方法において、前記ユニットを前記粘着剤と不溶又は難溶の液体中に浸漬させて、両面粘着シートと脆質材料との界面、又は、両面粘着シートと硬質板との界面に前記液体を侵入させた後、前記ユニットの端部より脆質材料を剥がすことを特徴とする脆質材料の加工方法。
IPC (5件)：
H01L 21/304 622 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/304 631 ,  B24B 37/04 ,  H01L 21/301
FI (5件)：
H01L 21/304 622 J ,  H01L 21/304 622 P ,  H01L 21/304 631 ,  B24B 37/04 J ,  H01L 21/78 P
Fターム (5件)：
3C058AA01 ,  3C058AB04 ,  3C058CB02 ,  3C058CB03 ,  3C058DA17
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (4件)
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