特許
J-GLOBAL ID：200903099185309799

高さ測定装置及び方法とこれを利用した検査装置

発明者：
田中 稔

田中 稔 について

, 
竹内 邦彦

竹内 邦彦 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (1件)： 岡▲崎▼ 信太郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-140269
公開番号（公開出願番号）：特開2000-329527
出願日： 1999年05月20日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：
【要約】【課題】 電子部品等の対象物の撮像画面に基づいて高さ測定が行われるようにした高さ測定装置及び方法と、これを利用して対象物の撮像及び高さ測定が同時に行われるようにした検査装置を提供すること。【解決手段】 対象物11に対して垂直なZ方向に移動可能で、この対象物を撮像する撮像手段13と、上記撮像手段をZ方向に移動調整する移動手段14と、上記移動手段により撮像手段をZ方向に微小距離つづ移動させながら、撮像手段により対象物の撮像を行なって、各撮像画面に基づいて、画像処理によりフォーカス値を計算して、フォーカス値の波形からフォーカス位置を検出することにより、対象物の高さを測定する制御手段15とを備える。
請求項（抜粋）：
対象物に対して垂直なZ方向に移動可能に配設されて、この対象物を撮像する撮像手段と、上記撮像手段をZ方向に移動する移動手段と、上記移動手段により撮像手段をZ方向に微小距離つづ移動させながら、撮像手段により対象物の撮像を順次に行なって、各撮像画面に基づいて、画像処理によりフォーカス値を計算して、フォーカス値のZ方向変化からフォーカス位置を検出することにより、対象物の高さを測定する制御手段とを含んでいることを特徴とする高さ測定装置。
IPC (2件)：
G01B 11/02 ,  H05K 13/08
FI (2件)：
G01B 11/02 H ,  H05K 13/08 Q
Fターム (14件)：
2F065AA24 ,  2F065CC25 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065FF10 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM03 ,  2F065MM24 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ34
引用特許：
審査官引用 (4件)
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