特許
J-GLOBAL ID：200903099224403641
プラズマ処理装置用整合器、プラズマ処理装置、および整合方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 伸司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-044928
公開番号（公開出願番号）：特開2008-210598
出願日： 2007年02月26日
公開日（公表日）： 2008年09月11日
要約：
【課題】パルス変調高周波信号を使用したプラズマ処理装置において正確な整合を制御し得るプラズマ処理装置用整合器を提供する。【解決手段】方向性結合器3a、整合器本体3b、および整合器制御部3dを備え、方向性結合器3aに入力されたパルス変調高周波信号Sを整合器本体3bを介してプラズマ発生部4aに供給するプラズマ処理装置用整合器1であって、方向性結合器3aは、パルス変調高周波信号Sを入力して整合器本体3bに出力すると共に、パルス変調高周波信号Sの進行波Sfおよび反射波Srを検出して出力し、整合器制御部3dは、進行波Sfおよび反射波Srを入力すると共に、パルス変調高周波信号Sが方向性結合器3aに入力されているときの進行波Sfに対する反射波Srの割合を算出して、割合が予め設定された収束判定値D2以下となるように整合器本体3bに対するプラズマ発生部4aとの整合を制御する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
方向性結合器、整合器本体、および整合器制御部を備え、前記方向性結合器に入力されたパルス変調高周波信号を前記整合器本体を介してプラズマ発生部に供給するプラズマ処理装置用整合器であって、
前記方向性結合器は、前記パルス変調高周波信号を入力して前記整合器本体に出力すると共に、当該パルス変調高周波信号の進行波および反射波を検出してそれぞれ進行波成分信号および反射波成分信号とし出力し、
前記整合器制御部は、前記進行波成分信号および前記反射波成分信号を入力すると共に、前記パルス変調高周波信号が前記方向性結合器に入力されているときの当該進行波成分信号に対する当該反射波成分信号の割合を算出して、当該割合が予め設定された基準値以下となるように前記整合器本体に対する前記プラズマ発生部との整合を制御するプラズマ処理装置用整合器。
IPC (1件)：
FI (2件)：
引用特許：
出願人引用 (1件)
審査官引用 (6件)
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