特許

J-GLOBAL ID：200903099385550520

収容装置

発明者： 岩津 春生
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 大森 純一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-288678
公開番号（公開出願番号）：特開2000-094233
出願日： 1998年09月28日
公開日（公表日）： 2000年04月04日
要約：

【要約】【課題】 露光装置等の所定装置側でレチクルを頻繁に交換する必要等がなくなり、処理効率を上げることができる収容装置の提供。【解決手段】 処理装置群11〜16側から収容装置18へガラス基板Gが送られてくると、レイヤに対応する収容体へ収容する。各収容体にそれぞれ20枚のガラス基板Gが収容されると、レイヤ別に連続的に露光装置20側に送出される。露光装置20で露光処理が行われた後、ガラス基板Gは、それぞれもとの各第1の収容体に順次収容される。そして、処理装置群11〜16側から当該収容装置18へガラス基板Gが送られてきた順番で、処理装置群11〜16側へこれらのガラス基板Gを返送する。このような収容動作と返送動作とを第1の収容体と第2の収容体とで相互に切り替えて行う。

請求項（抜粋）：

複数のレイヤが形成される基板を当該形成工程内で一旦収容する収容装置であって、一端から基板が枚葉式に搬入され、他端が所定装置側に接続される搬送路と、前記搬送路に沿って基板のレイヤ毎に配置され、所定の枚数の基板をそれぞれ収容する複数の収容体と、前記搬送路上を移動可能に配置され、前記搬送路の両端及び前記各収容体との間で基板を搬入出する搬送装置と、前記一端から搬入された基板のレイヤ情報を入手する手段と、前記入手したレイヤ情報に基づいて、前記一端から搬入された基板を対応するレイヤの前記収容体に前記搬送装置を介して搬入させる手段と、前記収容体に所定の枚数の基板が収容されたとき、これらの基板を該収容体から前記所定装置側に前記搬送装置を介して連続的に搬出させる手段とを具備することを特徴とする収容装置。

IPC (3件)：

B23P 19/00 302 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

B23P 19/00 302 K ,  H01L 21/68 T ,  H01L 21/30 503 E

Fターム (18件)：

3C030DA01 ,  3C030DA13 ,  3C030DA21 ,  5F031CA04 ,  5F031DA17 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031JA50 ,  5F031MA24 ,  5F031MA26 ,  5F031MA27 ,  5F031PA02 ,  5F046AA21 ,  5F046CD01 ,  5F046CD02 ,  5F046CD05 ,  5F046DA29 ,  5F046DD04

引用特許：

審査官引用 (6件)

• 製造システムおよび製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-155697   出願人：株式会社日立製作所
• 特開平4-108531
  
• 基板搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-251913   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-147367   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 被処理体の搬入、搬出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-344447   出願人：テル・バリアン株式会社
• 特開平4-108531