特許
J-GLOBAL ID：200903099451075073

研磨パッド用不織布および研磨パッド

発明者：
神崎 英俊

神崎 英俊 について

, 
田所 義幸

田所 義幸 について


出願人/特許権者：
旭化成せんい株式会社

旭化成せんい株式会社 について


代理人 (1件)： 川北 武長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-154954
公開番号（公開出願番号）：特開2005-334997
出願日： 2004年05月25日
公開日（公表日）： 2005年12月08日
要約：
【課題】初期の研磨速度が速く、仮研磨処理工程が不要であり、かつ安定した高研磨速度と高平坦性を維持できる研磨パッド用不織布および該不織布を用いた研磨パッドを提供する。【解決手段】(1) 不織布を構成する繊維の繊度が0.05〜3.3dtexであり、該繊維が相互に三次元交絡し、該繊維の平均繊維交絡点間距離が150μm以下で、かつ、該不織布の内層部の層間剥離強度が300g/2cm以上であることを特徴とする研磨パッド用不織布。(2) 前記不織布を研磨面に用いた研磨パッド。(3) 前記研磨パッドが、化学的機械研磨用パッドである。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
不織布を構成する繊維の繊度が0.05〜3.3dtexであり、該繊維が相互に三次元交絡し、該繊維の平均繊維交絡点間距離が150μm以下で、かつ、該不織布の内層部の層間剥離強度が300g/2cm以上であることを特徴とする研磨パッド用不織布。
IPC (3件)：
B24B37/00 ,  D04H1/46 ,  H01L21/304
FI (3件)：
B24B37/00 C ,  D04H1/46 A ,  H01L21/304 622F
Fターム (18件)：
3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB01 ,  3C058CB03 ,  3C058DA17 ,  4L047AA21 ,  4L047AA27 ,  4L047AA28 ,  4L047AB02 ,  4L047AB07 ,  4L047AB10 ,  4L047BA04 ,  4L047BA09 ,  4L047BA21 ,  4L047CA05 ,  4L047CB01 ,  4L047CB10 ,  4L047CC16
引用特許：
出願人引用 (12件)
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審査官引用 (9件)
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