特許
J-GLOBAL ID:200903099480255366
反射防止膜、その形成方法及び光学素子
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
高石 橘馬
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-052572
公開番号(公開出願番号):特開2009-210739
出願日: 2008年03月03日
公開日(公表日): 2009年09月17日
要約:
【課題】低い屈折率を有し、広い波長範囲の光線に対する反射防止性に優れた均一な反射防止膜、その形成方法及びその反射防止膜を有する光学素子を提供する。【解決手段】基材又はその上に形成された緻密膜の表面に形成されたメソポーラスシリカナノ粒子が集合してなるメソポーラスシリカ多孔質膜からなり、1.10以下の屈折率を有する反射防止膜。 【選択図】図1
請求項(抜粋):
基材の表面に形成されたメソポーラスシリカナノ粒子が集合してなるメソポーラスシリカ多孔質膜からなり、1.10以下の屈折率を有することを特徴とする反射防止膜。
IPC (4件):
G02B 1/11
, C03C 17/25
, C03C 17/34
, B32B 9/00
FI (4件):
G02B1/10 A
, C03C17/25 A
, C03C17/34 Z
, B32B9/00 A
Fターム (36件):
2K009AA02
, 2K009BB02
, 2K009BB11
, 2K009CC01
, 2K009CC09
, 2K009DD02
, 2K009DD06
, 4F100AA20B
, 4F100AA21
, 4F100AG00
, 4F100AH06B
, 4F100AT00A
, 4F100AT00C
, 4F100BA02
, 4F100BA03
, 4F100BA07
, 4F100BA10C
, 4F100CA18B
, 4F100DE01B
, 4F100DJ10B
, 4F100EH46B
, 4F100EJ48B
, 4F100GB90
, 4F100JA20B
, 4F100JN00C
, 4F100JN06B
, 4F100JN18B
, 4F100YY00B
, 4G059AA11
, 4G059AC04
, 4G059EA05
, 4G059EB07
, 4G059GA01
, 4G059GA02
, 4G059GA04
, 4G059GA12
引用特許:
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