特許
J-GLOBAL ID：200903099565722516

ナノチューブ配線を備えた電子デバイス及びその製造方法

発明者：
大淵 真理

大淵 真理 について

, 
近藤 大雄

近藤 大雄 について

, 
二瓶 瑞久

二瓶 瑞久 について


出願人/特許権者：
富士通株式会社

富士通株式会社 について


代理人 (4件)： 眞鍋 潔 ,  柏谷 昭司 ,  渡邊 弘一 ,  伊藤 壽郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-012375
公開番号（公開出願番号）：特開2006-202942
出願日： 2005年01月20日
公開日（公表日）： 2006年08月03日
要約：
【課題】 ナノチューブ配線を備えた電子デバイス及びその製造方法に関し、製造工程を複雑化することなく、カーボンナノチューブ配線を任意の成長方向に成長させる。【解決手段】 底面を除く全面が触媒4で覆われた導電体ブロック2のナノチューブ配線が延在しない方向において触媒4と導電体ブロック2との間に成長抑制マスク3を設ける。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
底面を除く全面が触媒で覆われた導電体ブロックから所定の方向のみに成長するナノチューブ配線を備えた電子デバイスにおいて、前記ナノチューブ配線が延在しない方向において前記触媒と前記導電体ブロックとの間に成長抑制マスクが設けられていることを特徴とするナノチューブを備えた電子デバイス。
IPC (5件)：
H01L 21/320 ,  H01L 23/52 ,  C01B 31/02 ,  H01L 21/28 ,  H01L 21/285
FI (5件)：
H01L21/88 M ,  C01B31/02 101F ,  H01L21/28 301Z ,  H01L21/285 C ,  H01L21/88 B
Fターム (40件)：
4G146AA11 ,  4G146AB07 ,  4G146AD28 ,  4G146BA12 ,  4G146BA48 ,  4G146BC09 ,  4G146BC23 ,  4G146BC33B ,  4G146BC38B ,  4G146BC42 ,  4G146BC43 ,  4G146BC44 ,  4M104BB04 ,  4M104BB14 ,  4M104BB36 ,  4M104DD22 ,  4M104DD43 ,  4M104DD45 ,  4M104DD78 ,  4M104DD89 ,  4M104HH16 ,  5F033HH11 ,  5F033HH18 ,  5F033HH33 ,  5F033HH36 ,  5F033MM08 ,  5F033MM11 ,  5F033MM17 ,  5F033MM22 ,  5F033PP02 ,  5F033PP06 ,  5F033PP12 ,  5F033PP15 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ14 ,  5F033QQ73 ,  5F033QQ78 ,  5F033QQ91 ,  5F033VV04 ,  5F033XX10
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (3件)

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