測定装置および測定方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：古谷史旺 , 森俊秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-097079
公開番号（公開出願番号）：特開2009-250708
出願日： 2008年04月03日
公開日（公表日）： 2009年10月29日
要約：

【課題】従来技術による中空形状の測定方法は、物体の中空形状を一度に得ることができず、物体や光源を回転させる必要があり、装置が複雑になるだけでなく、精度面での問題もあった。【解決手段】本発明に係る測定装置は、中空筒状の被測定物の内側形状を測定する測定装置であって、前記中空筒状の軸方向である第1の方向に光を送光する送光部と、前記光を前記第1の方向と略直交する方向に前記光の進行方向を変換する変換部と、前記変換部で変換された前記光が前記第1の方向において区別可能に物理的変調を与える変調部と、前記変換部で方向が変換された光のうち前記被測定物の内側で反射した光の合焦情報と前記物理的変調の情報とを検出する検出部と、前記検出部の検出結果に基づいて、所定基準位置からのずれを求めることにより前記被測定物の内側形状を測定する形状測定部とを備えることを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

中空筒状の被測定物の内側形状を測定する測定装置であって、前記中空筒状の軸方向である第1の方向に光を送光する送光部と、前記光を前記第1の方向と略直交する方向に前記光の進行方向を変換する変換部と、前記変換部で変換された前記光が前記第1の方向において区別可能に物理的変調を与える変調部と、前記変換部で方向が変換された光のうち前記被測定物の内側で反射した光の合焦情報と前記物理的変調の情報とを検出する検出部と、前記検出部の検出結果に基づいて、所定基準位置からのずれを求めることにより前記被測定物の内側形状を測定する形状測定部とを備えることを特徴とする測定装置。

IPC (1件)：

G01B 11/24

FI (2件)：

G01B11/24 B , G01B11/24 K

Fターム (19件)：

2F065AA09 , 2F065AA35 , 2F065AA52 , 2F065AA53 , 2F065BB08 , 2F065FF04 , 2F065FF61 , 2F065GG17 , 2F065JJ03 , 2F065LL00 , 2F065LL11 , 2F065LL22 , 2F065LL28 , 2F065LL30 , 2F065LL59 , 2F065MM14 , 2F065MM24 , 2F065QQ13 , 2F065QQ31

引用特許：

出願人引用 (1件)

石膏型形状計測器
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-238924 出願人：川村義肢株式会社, オプトウエア株式会社

審査官引用 (7件)

穴形状光測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-262205 出願人：日本電信電話株式会社
特開平3-289293
共焦点顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-113163 出願人：株式会社キーエンス

全件表示

前のページに戻る