特許
J-GLOBAL ID：200903099698520967
サイドウォール除去液
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-340026
公開番号（公開出願番号）：特開平11-174690
出願日： 1997年12月10日
公開日（公表日）： 1999年07月02日
要約：
【要約】【課題】 配線材料を腐食することなく低温でかつ短時間でサイドウォールを除去できるサイドウォール除去液を提供する。【解決手段】 モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、N-メチル-ジエタノールアミン、N,N-ジメチルモノエタノールアミンよりなる群から選ばれる少なくとも1つのアルカノールアミンと、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、乳酸、安息香酸よりなる群から選ばれる少なくとも1つの有機酸と水からなる除去液を用いる。
請求項（抜粋）：
アルカノールアミンと、有機酸と水からなることを特徴とするサイドウォール除去液。
IPC (4件)：
G03F 7/42
, C11D 7/22
, C11D 7/60
, H01L 21/027
G03F 7/42
, C11D 7/22
, C11D 7/60
, H01L 21/30 572 A
