特許
J-GLOBAL ID:200903099717543329

電磁気マイクロアクチュエータ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 八田国際特許業務法人
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-284047
公開番号(公開出願番号):特開2008-122955
出願日: 2007年10月31日
公開日(公表日): 2008年05月29日
要約:
【課題】電磁気マイクロアクチュエータを提供する。【解決手段】基板110の一面に回動自在に形成されたステージ120と、ステージ120の回転軸方向にステージ120の両側に連結された一対のトーションバネ132と、トーションバネ132を支持してステージ120を取り囲む固定フレーム150と、ステージ120の上面に所定深さで巻き回された駆動コイル130と、駆動コイル130形成部分から離隔した形成されたミラー部140と、駆動コイル130から離隔し、駆動コイル130を挟んで対向する位置に形成された一対の永久磁石160と、を備えることを特徴とする電磁気マイクロアクチュエータ。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基板の一面に回動自在に形成されたステージと、 前記ステージの回転軸方向に前記ステージの両側に連結された一対のトーションバネと、 前記トーションバネを支持して前記ステージを取り囲む固定フレームと、 前記ステージの上面に所定深さで巻き回された駆動コイルと、 前記ステージ内の前記駆動コイルが形成されている部分と離隔して形成された光を反射するミラー部と、 前記駆動コイルから離隔し、かつ、前記駆動コイルを間に挟んで対向する位置に形成された一対の永久磁石と、を備えることを特徴とする電磁気マイクロアクチュエータ。
IPC (5件):
G02B 26/10 ,  G02B 26/08 ,  H02K 33/18 ,  B81B 3/00 ,  H04N 1/113
FI (6件):
G02B26/10 104Z ,  G02B26/10 C ,  G02B26/08 E ,  H02K33/18 C ,  B81B3/00 ,  H04N1/04 104Z
Fターム (54件):
2H045AB10 ,  2H045AB13 ,  2H045AB16 ,  2H045AB48 ,  2H045AB73 ,  2H141MA12 ,  2H141MB24 ,  2H141MC05 ,  2H141MD13 ,  2H141MD16 ,  2H141MD20 ,  2H141MD23 ,  2H141MD24 ,  2H141MF02 ,  2H141MF04 ,  2H141MG03 ,  2H141MG06 ,  2H141MZ06 ,  2H141MZ16 ,  2H141MZ19 ,  2H141MZ24 ,  2H141MZ27 ,  2H141MZ28 ,  3C081AA04 ,  3C081BA03 ,  3C081BA28 ,  3C081BA44 ,  3C081BA47 ,  3C081BA54 ,  3C081CA14 ,  3C081CA15 ,  3C081CA20 ,  3C081CA28 ,  3C081CA30 ,  3C081EA08 ,  5C072AA03 ,  5C072BA04 ,  5C072DA04 ,  5C072DA21 ,  5C072HA14 ,  5C072WA05 ,  5C072XA05 ,  5H633BB02 ,  5H633BB15 ,  5H633GG03 ,  5H633GG06 ,  5H633GG08 ,  5H633GG10 ,  5H633GG25 ,  5H633GG26 ,  5H633HH02 ,  5H633HH05 ,  5H633HH13 ,  5H633JA02
引用特許:
審査官引用 (6件)
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