特許
J-GLOBAL ID：200903099722754028

感光性樹脂積層体

発明者：
富田 宏朗

富田 宏朗 について

, 
五十嵐 勉

五十嵐 勉 について


出願人/特許権者：
旭化成株式会社

旭化成株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-128392
公開番号（公開出願番号）：特開2002-323759
出願日： 2001年04月25日
公開日（公表日）： 2002年11月08日
要約：
【要約】【課題】 高解像性とマスクフィルムに忠実なパターン形状を有し、基板にDFRをラミネートした際にエアーボイドの発生が少なく、感光性樹脂層上に保護層を積層して感光性樹脂積層体を製造する際に、感光性樹脂層が保護層と密着しやすく、特にセミアディティブ工法に適用した場合に電解めっき後のレジストパターン剥離工程において、剥離残が発生しにくい感光性樹脂積層体を提供する。【解決手段】 支持体、感光性樹脂層、および保護層からなる感光性樹脂積層体において、前記支持体の膜厚が10μm以上30μm以下、ヘーズが0.01%以上1.5%以下であり、且つ前記保護層の膜厚が30μm以上50μm以下、中心線平均粗さ(Ra)が0.1μm未満にする。
請求項（抜粋）：
支持体(A)、感光性樹脂層(B)、および保護層(C)からなる感光性樹脂積層体において、前記支持体(A)の膜厚が10μm以上30μm以下、ヘーズが0.01%以上1.5%以下であり、且つ前記保護層(C)の膜厚が30μm以上50μm以下、中心線平均粗さ(Ra)が0.1μm未満であることを特徴とする感光性樹脂積層体。
IPC (4件)：
G03F 7/004 512 ,  B32B 7/02 103 ,  H05K 3/00 ,  H05K 3/18
FI (4件)：
G03F 7/004 512 ,  B32B 7/02 103 ,  H05K 3/00 F ,  H05K 3/18 D
Fターム (53件)：
2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA14 ,  2H025AA18 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025CA00 ,  2H025CB42 ,  2H025DA01 ,  2H025DA18 ,  2H025DA20 ,  2H025EA08 ,  2H025FA17 ,  4F100AK01B ,  4F100AK01C ,  4F100AK04C ,  4F100AK25 ,  4F100AK42A ,  4F100AT00A ,  4F100BA03 ,  4F100BA07 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10C ,  4F100DD07C ,  4F100EH012 ,  4F100EH462 ,  4F100EH71 ,  4F100EJ543 ,  4F100EJ97 ,  4F100JA20A ,  4F100JA20C ,  4F100JK06 ,  4F100JM02A ,  4F100JM02C ,  4F100JN01A ,  4F100JN17B ,  4F100YY00A ,  4F100YY00C ,  5E343AA02 ,  5E343BB24 ,  5E343BB71 ,  5E343CC62 ,  5E343DD33 ,  5E343DD43 ,  5E343ER11 ,  5E343ER16 ,  5E343ER18 ,  5E343GG06 ,  5E343GG08
引用特許：
審査官引用 (5件)
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