特許
J-GLOBAL ID:200903099809760695
電子放出源及び製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (5件):
石田 敬
, 鶴田 準一
, 土屋 繁
, 西山 雅也
, 樋口 外治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-078476
公開番号(公開出願番号):特開2004-288460
出願日: 2003年03月20日
公開日(公表日): 2004年10月14日
要約:
【課題】高真空を必要とせず、低電圧大電流で安定動作する、FED用の電子放出源を提供する。【解決手段】炭素含有ガス雰囲気内で炭素系基材を熱フィラメントとしてCVDを行なって炭素系基材の表面に突起状に炭素結晶を堆積させる。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
炭素系基材と、
該炭素系基材の表面に形成された炭素結晶とを具備する電子放出源。
IPC (3件):
H01J1/304
, H01J9/02
, H01J29/04
FI (3件):
H01J1/30 F
, H01J9/02 B
, H01J29/04
Fターム (24件):
5C031DD17
, 5C031DD19
, 5C127AA01
, 5C127AA03
, 5C127AA06
, 5C127AA20
, 5C127BA09
, 5C127BB15
, 5C127DD08
, 5C127DD32
, 5C127EE02
, 5C127EE03
, 5C127EE04
, 5C127EE06
, 5C127EE15
, 5C135AA09
, 5C135AB15
, 5C135AC07
, 5C135GG11
, 5C135HH02
, 5C135HH03
, 5C135HH04
, 5C135HH06
, 5C135HH15
引用特許:
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