加圧加工装置、加圧加工方法および加圧加工用モールド

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長尾達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-338080
公開番号（公開出願番号）：特開2007-149722
出願日： 2005年11月24日
公開日（公表日）： 2007年06月14日
要約：

【課題】モールドとワーク間の距離を光の波長に依存することなく、高精度に計測して加圧加工することが可能となる加圧加工装置、加圧加工方法および加圧加工用モールドを提供する。【解決手段】モールドまたは被加工部材の少なくともいずれか一方の側を加圧し、モールドの加工面に形成されたパターンを、前記被加工部材の表面に転写する加圧加工装置をつぎのように構成する。すなわち、前記モールドと前記被加工部材との間の距離を計測する距離計測機構を有し、前記距離計測機構は、前記モールドの加工面側と前記被加工部材の表面側とにそれぞれ設けられた距離計測構造を観測する。そして、前記観測結果に基づいて、前記モールドと前記被加工部材との間の距離を計測可能に構成する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

モールドまたは被加工部材の少なくともいずれか一方の側を加圧し、モールドの加工面に形成されたパターンを、前記被加工部材の表面に転写する加圧加工装置であって、前記モールドと前記被加工部材との間の距離を計測する距離計測機構を有し、前記距離計測機構は、前記モールドの加工面側と前記被加工部材の表面側とにそれぞれ設けられた距離計測構造を観測し、前記観測結果に基づいて、前記モールドと前記被加工部材との間の距離を計測可能に構成されていることを特徴とする加圧加工装置。

IPC (6件)：

H01L 21/027 , B81C 5/00 , B82B 3/00 , B29C 43/02 , B29C 59/02 , B29C 43/58

FI (6件)：

H01L21/30 502D , B81C5/00 , B82B3/00 , B29C43/02 , B29C59/02 Z , B29C43/58

Fターム (28件)：

4F204AA21 , 4F204AA44 , 4F204AD08 , 4F204AF01 , 4F204AG01 , 4F204AG05 , 4F204AH73 , 4F204AH75 , 4F204AR07 , 4F204FA01 , 4F204FB01 , 4F204FN11 , 4F204FQ01 , 4F209AA21 , 4F209AA44 , 4F209AD08 , 4F209AF01 , 4F209AG01 , 4F209AG03 , 4F209AG05 , 4F209AR07 , 4F209PA02 , 4F209PB01 , 4F209PC01 , 4F209PC05 , 4F209PN06 , 4F209PN09 , 5F046AA28

引用特許：

出願人引用 (1件)

米国特許第6696220号明細書

審査官引用 (7件)

ナノインプリント装置及び方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-352744 出願人：住友重機械工業株式会社
露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-181329 出願人：三菱電機株式会社
露光における間隙測定装置および間隙測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-012538 出願人：サンエー技研株式会社

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